公开(公告)号：CN109660064B

公开(公告)日：2024-05-17

申请号：CN201910087272.2

申请日：2019-01-29

申请人： 苏州隐冠半导体技术有限公司

发明人： 丁晨阳 ,  李涵雄 ,  张国旗 ,  李平 ,  陈椿元 ,  吴晓辉

IPC分类号： H02K7/00 ,  H02K1/12 ,  H02K3/28 ,  H02K11/21 ,  H02K11/22

摘要： 本发明公开一种基于混合位移传感器和平面电机的位移装置，其包括工作台和定子，其中定子设计有一个工作区域并且定子包括磁体块系统，工作台沿第三方向(Z)可移动地与定子邻接配置，工作台包括电机线圈系统，电机线圈系统与磁体块系统作用，使工作台在工作区范围内产生六个自由度的位移，还包括多个长距离无接触位移传感器和多个短距离无接触位移传感器，长距离无接触位移传感器安装在定子上，通过多个长距离无接触位移传感器的反馈信号得出工作台沿第一方向(X)和第二方向(Y)平动以及绕第三方向(Z)转动的三个自由度运动的位移，短距离无接触位移传感器沿第三方向(Z)安装在工作台上，指向定子，用于测量工作台和定子的间距。

公开(公告)号：CN111490662B

公开(公告)日：2022-04-26

申请号：CN201910088057.4

申请日：2019-01-29

申请人： 苏州隐冠半导体技术有限公司

发明人： 丁晨阳 ,  张国旗 ,  李涵雄

IPC分类号： H02K41/00

摘要： 本发明公开一种平面电机位移装置，其至少包括定子和动子，定子至少包括一个磁体阵列，在平行于X方向和Y方向的第一平面上延伸，形成一个工作区，动子至少包括一个线圈阵列，动子的所述线圈阵列配置在与所述第一平面平行的第二平面上。线圈阵列至少包括一个X线圈阵列和一个Y线圈阵列；X线圈阵列至少包括3个尺寸相同的X线圈；Y线圈阵列至少包括3个尺寸相同的Y线圈。每个X线圈或Y线圈都配置在多个具有相同XY位置且沿Z方向邻接配置的双层结构上，每个X线圈或Y线圈在每个双层结构上至少绕线2匝，并且每匝线圈都配置在双层结构上，使电流在每个双层结构的上层与下层之间反复流动至少一次。

公开(公告)号：CN111490642B

公开(公告)日：2022-05-20

申请号：CN201910088055.5

申请日：2019-01-29

申请人： 苏州隐冠半导体技术有限公司

发明人： 丁晨阳 ,  李涵雄 ,  张国旗 ,  陈椿元 ,  吴晓辉

IPC分类号： H02K11/215 ,  G03F7/20

摘要： 本发明公开一种基于霍尔效应传感器和平面电机的位移装置，至少包括一个平面电机定子、一个平面电机动子和一个霍尔效应传感器阵列，平面电机定子上的磁体阵列在与X方向和Y方向大致平行的第一平面上延伸，形成一个工作区，平面电机动子上的线圈阵列配置在与第一平面平行的第二平面上，线圈阵列与磁体阵列相互作用使平面电机动子在工作区范围内产生至少两个自由度的位移，磁体阵列由第一磁体块和第二磁体块交替成行成列配置，霍尔效应传感器阵列由多个霍尔效应传感器组成，安装在平面电机动子上，磁体阵列的磁体块在X方向的尺寸不小于霍尔效应传感器阵列的列间距的两倍，磁体阵列的磁体块在Y方向的尺寸不小于霍尔效应传感器阵列的行间距的两倍。