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公开(公告)号：CN110544664B
公开(公告)日：2024-10-11
申请号：CN201910450861.2
申请日：2019-05-28
申请人： 苏斯微技术光刻有限公司
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/67
摘要： 本发明涉及一种用于基板(101)的保持装置(100)，特别是卡盘，包括：具有上面(105)的主体(103)；载体元件(107)，其中载体元件(107)被布置在主体(103)的凹部(109)中以便可垂直移动，使得它可以在突出的装载位置和缩回的夹紧位置之间调节，并且其中载体元件(107)包括：用于放置基板(101)的支撑表面(111)，其中支撑表面(111)具有比主体(103)的直径更小的直径；以及将载体元件(107)提升到装载位置的提升元件，其中，载体元件(107)将凹部(109)密封，使得在主体(103)和载体元件(107)之间设置密封腔(113)，该腔(113)可以具有施加于此的负压，其抵消了提升元件的影响。
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公开(公告)号：CN109092592B
公开(公告)日：2022-05-03
申请号：CN201810637857.2
申请日：2018-06-20
申请人： 苏斯微技术光刻有限公司
摘要： 本发明提供了管嘴末端适配器、管嘴组件以及管嘴。管嘴末端适配器(12)具有抽吸管道(34)、供给管道(36)以及具有装置端部(18)和基板端部(20)的基部本体(16)。基部本体(16)具有在其基板端部(20)处的用于容纳管嘴末端(14)的管嘴末端凹入部(26)以及延伸到管嘴末端凹入部(26)中的突出部分(30)，其中抽吸管道(34)延伸穿过突出部分(30)，并且供给管道(36)通向管嘴末端凹入部(26)，其中抽吸管道(34)至少部分地被供给管道(36)围绕。此外，示出了管嘴组件(10)和管嘴(60)。
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公开(公告)号：CN110544664A
公开(公告)日：2019-12-06
申请号：CN201910450861.2
申请日：2019-05-28
申请人： 苏斯微技术光刻有限公司
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/67
摘要： 本发明涉及一种用于基板(101)的保持装置(100)，特别是卡盘，包括：具有上面(105)的主体(103)；载体元件(107)，其中载体元件(107)被布置在主体(103)的凹部(109)中以便可垂直移动，使得它可以在突出的装载位置和缩回的夹紧位置之间调节，并且其中载体元件(107)包括：用于放置基板(101)的支撑表面(111)，其中支撑表面(111)具有比主体(103)的直径更小的直径；以及将载体元件(107)提升到装载位置的提升元件，其中，载体元件(107)将凹部(109)密封，使得在主体(103)和载体元件(107)之间设置密封腔(113)，该腔(113)可以具有施加于此的负压，其抵消了提升元件的影响。
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公开(公告)号：CN109092592A
公开(公告)日：2018-12-28
申请号：CN201810637857.2
申请日：2018-06-20
申请人： 苏斯微技术光刻有限公司
CPC分类号： B05B1/3033 , B05B1/28 , B05B15/62 , B05B15/65 , B05C5/0225 , B05C17/014 , H01L21/6715 , B05B13/0278 , B05B14/00 , H01L21/67017
摘要： 本发明提供了管嘴末端适配器、管嘴组件以及管嘴。管嘴末端适配器(12)具有抽吸管道(34)、供给管道(36)以及具有装置端部(18)和基板端部(20)的基部本体(16)。基部本体(16)具有在其基板端部(20)处的用于容纳管嘴末端(14)的管嘴末端凹入部(26)以及延伸到管嘴末端凹入部(26)中的突出部分(30)，其中抽吸管道(34)延伸穿过突出部分(30)，并且供给管道(36)通向管嘴末端凹入部(26)，其中抽吸管道(34)至少部分地被供给管道(36)围绕。此外，示出了管嘴组件(10)和管嘴(60)。
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