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发明公开
一种晶硅太阳能电池的钝化方法及应用无效

公开(公告)号：CN112736162A

公开(公告)日：2021-04-30

申请号：CN202110125812.9

申请日：2021-01-29

申请人： 英利能源(中国)有限公司 , 英利集团有限公司

发明人： 李倩 , 常向楠 , 张春旭 , 张煌军 , 史金超 , 李锋

IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/068

摘要： 本申请公开了一种晶硅太阳能电池的钝化方法及应用，属于太阳能电池技术领域。所述晶硅太阳能电池的钝化方法，在氧化铝钝化薄膜工序与氮化硅薄膜工序之间，还包括以下步骤：向设备内通入氨气；当通入氨气达到第一预设时长，开启射频放电，对晶硅太阳能电池的氧化铝钝化薄膜进行处理；当射频放电达到第二预设时长，关闭射频放电，停止通入氨气。所述晶硅太阳能电池的钝化方法主要应用于N型隧穿氧化层钝化接触单晶硅电池和P型双面钝化发射极背面接触单晶硅电池。本发明的晶硅太阳能电池的钝化方法，通过在氧化铝薄膜工序和氮化硅薄膜工序之间增加了氨气和射频放电工艺，提高了太阳能电池的钝化效果，从而进一步提升太阳能电池的转化效率。