公开(公告)号：CN112343801A

公开(公告)日：2021-02-09

申请号：CN202010721059.5

申请日：2020-07-24

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： M·塞德尔 ,  A·德厄 ,  D·弗鲁赫特尔 ,  W·克莱因 ,  U·克鲁宾 ,  J·斯特拉塞 ,  M·沃布尔

IPC: F04B43/04 ,  F04B53/10 ,  F04B49/06 ,  F04B49/22

Abstract: 一种MEMS泵，包括基部结构，与基部结构相对并可平行于基部结构的表面法线偏转的膜结构，并且包括基部结构和膜结构之间的泵腔，其中，泵腔的容积基于膜结构相对于基部结构的位置。MEMS泵包括通道，该通道被构造成让流体进入泵腔或离开泵腔，其中，通道相对于泵腔布置在平面内。MEMS泵包括阀结构，该阀结构流体耦接到通道，并且被构造成在第一状态下将通道连接到第一外部容积以便将流体提供至泵腔，并且用于在第二状态下将通道连接到第二外部容积以便将流体提供至第二外部容积。

公开(公告)号：CN112343801B

公开(公告)日：2024-03-08

申请号：CN202010721059.5

申请日：2020-07-24

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： M·塞德尔 ,  A·德厄 ,  D·弗鲁赫特尔 ,  W·克莱因 ,  U·克鲁宾 ,  J·斯特拉塞 ,  M·沃布尔

IPC: F04B43/04 ,  F04B53/10 ,  F04B49/06 ,  F04B49/22