公开(公告)号：CN115597714A

公开(公告)日：2023-01-13

申请号：CN202210608867.X

申请日：2022-05-31

申请人： 英飞凌科技股份有限公司(DE)

发明人： G·斯托克 ,  E·阿绍尔 ,  U·巴尔特 ,  T·格里勒 ,  C·科瓦奇 ,  T·奥斯特曼

IPC分类号： G01J5/00 ,  G01K7/00 ,  G01K7/02 ,  G01K7/16

摘要： 本公开的各实施例总体上涉及用于检测引导热辐射的传感器和方法。一种流体传感器，包括具有顶部主表面区域的支撑结构，其中，支撑结构的顶部主表面区域形成传感器的公共系统平面。该流体传感器还包括在支撑结构的顶部主表面区域上的热发射器，其中，热发射器被配置为沿平行于系统平面的至少两个不同辐射发射方向发射热辐射。此外，流体传感器包括：热辐射检测器，在支撑结构的顶部主表面区域上，其中，热辐射检测器被配置为检测热辐射；以及波导结构，在支撑结构的顶部主表面区域上具有第一波导部段和第二波导部段。