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公开(公告)号:CN111017487A
公开(公告)日:2020-04-17
申请号:CN201911345832.6
申请日:2019-12-24
申请人: 荆门微田智能科技有限公司
发明人: 曹七芳
IPC分类号: B65G23/06 , B65G17/16 , B65G17/48 , B65G23/22 , B65G23/30 , B65G17/32 , B08B3/04 , B08B13/00
摘要: 本发明公开了一种链式晶圆清洗干燥用链式提升装置,传动链条依次绕接在四个链轮上,四个链轮呈梯形分布,传动链条上间隔铰接有多个清洗夹具,清洗夹具用于夹持晶圆,翻转导轨用于将清洗夹具从竖直状态翻转为水平状态以及将清洗夹具从水平状态翻转为竖直状态;本发明能够实现晶圆清洗干燥处理的连续式生产,大大提高晶圆清洗干燥的生产效率,满足工业化生产要求。
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公开(公告)号:CN112664809A
公开(公告)日:2021-04-16
申请号:CN202011596018.4
申请日:2019-12-27
申请人: 荆门微田智能科技有限公司
发明人: 曹七芳
摘要: 本发明公开了一种可实现润滑油循环利用的高铁用雨刷器的使用方法,齿轮加压泵用于将第一腔体内的润滑油吸入并加压后泵送至雾化喷头内;本发明能够实现润滑油的循环利用,延长添加润滑油的间隔时间,降低使用成本,使用更方便;同时将润滑油变成雾状形态,增大润滑油的接触面积,润滑效果更好,使用寿命更长。
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公开(公告)号:CN111112208A
公开(公告)日:2020-05-08
申请号:CN201911345793.X
申请日:2019-12-24
申请人: 荆门微田智能科技有限公司
发明人: 曹七芳
摘要: 本发明公开了一种链式晶圆清洗干燥机器人整机,包括机架以及设于机架上的清洗槽和链式提升装置;清洗槽内设有喷气组件,喷气组件用于对经过清洗槽清洗后的晶圆进行干燥处理;链式提升装置包括传动链条、链条导向轨道、转动设置于机架上的四个链轮、用于驱动传动链条转动的第一驱动件以及设于链式提升装置上端的翻转导轨,传动链条依次绕接在四个链轮上,四个链轮呈梯形分布,传动链条上间隔铰接有多个清洗夹具,清洗夹具用于夹持晶圆,翻转导轨用于将清洗夹具从竖直状态翻转为水平状态以及将清洗夹具从水平状态翻转为竖直状态;本发明能够实现晶圆清洗干燥处理的连续式生产,大大提高晶圆清洗干燥的生产效率,满足工业化生产要求。
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公开(公告)号:CN111017487B
公开(公告)日:2021-05-28
申请号:CN201911345832.6
申请日:2019-12-24
申请人: 荆门微田智能科技有限公司
发明人: 曹七芳
IPC分类号: B65G23/06 , B65G17/16 , B65G17/48 , B65G23/22 , B65G23/30 , B65G17/32 , B08B3/04 , B08B13/00
摘要: 本发明公开了一种链式晶圆清洗干燥用链式提升装置,传动链条依次绕接在四个链轮上,四个链轮呈梯形分布,传动链条上间隔铰接有多个清洗夹具,清洗夹具用于夹持晶圆,翻转导轨用于将清洗夹具从竖直状态翻转为水平状态以及将清洗夹具从水平状态翻转为竖直状态;本发明能够实现晶圆清洗干燥处理的连续式生产,大大提高晶圆清洗干燥的生产效率,满足工业化生产要求。
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公开(公告)号:CN110925581B
公开(公告)日:2021-04-02
申请号:CN201911372439.6
申请日:2019-12-27
申请人: 荆门微田智能科技有限公司
发明人: 曹七芳
IPC分类号: F16H57/04
摘要: 本发明公开了一种可实现润滑油循环利用的自润滑雨刷电机,包括壳体、上盖、储油槽、驱动电机、雾化喷头、输入涡轮、输出齿轮、动力蜗杆及齿轮加压泵,壳体设有回油孔,动力蜗杆套接有油泵驱动齿,驱动电机与动力蜗杆的一端传动连接,输出齿轮转动连接在容置槽上,输入涡轮的一端转动连接在容置槽上,输入涡轮与动力蜗杆、输出齿轮均啮合,齿轮加压泵设于壳体内,齿轮加压泵上转动连接有油泵从动齿,齿轮加压泵用于将第一腔体内的润滑油吸入并加压后泵送至雾化喷头内;本发明能够实现润滑油的循环利用,延长添加润滑油的间隔时间,降低使用成本,使用更方便;同时将润滑油变成雾状形态,增大润滑油的接触面积,润滑效果更好,使用寿命更长。
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公开(公告)号:CN111002335A
公开(公告)日:2020-04-14
申请号:CN201911275469.5
申请日:2019-12-12
申请人: 荆门微田智能科技有限公司
发明人: 曹七芳
IPC分类号: B25J15/02 , H01L21/67 , H01L21/687
摘要: 本发明公开了一种可防晶圆清洗干燥出现死角的夹持器,包括动力基座、设于动力基座顶面并呈十字形状的夹持支架及四个设于动力基座的侧壁上并呈十字形排列的电磁动力装置;四个电磁动力装置与夹持支架的四个连接臂一一对应设置,每个电磁动力装置的输出端均铰接有一个连接杆,每个连接杆的另一端均铰接有夹爪,每个夹爪对应与夹持支架的连接臂的自由端部铰接,每个夹爪的自由端分别设有卡片槽,卡片槽用于与晶圆的圆周壁配合;四个电磁动力装置的输出端分别经由四个连接杆带动四个夹爪摆动,以实现松开或夹紧晶圆;本发明能够实现晶圆无死角清洗和无死角干燥,同时提高了晶圆的清洗效果以及晶圆的干燥效果,大大减少干燥缺陷,提高产品良品率。
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公开(公告)号:CN112594534A
公开(公告)日:2021-04-02
申请号:CN202011595799.5
申请日:2019-12-27
申请人: 荆门微田智能科技有限公司
发明人: 曹七芳
摘要: 本发明公开了一种可实现润滑油循环利用的自润滑雨刷电机的应用方法,包括壳体、上盖、储油槽、驱动电机、雾化喷头、输入涡轮、输出齿轮、动力蜗杆及齿轮加压泵,壳体设有回油孔,动力蜗杆套接有油泵驱动齿,驱动电机与动力蜗杆的一端传动连接,输出齿轮转动连接在容置槽上,输入涡轮的一端转动连接在容置槽上,输入涡轮与动力蜗杆、输出齿轮均啮合,齿轮加压泵设于壳体内,齿轮加压泵上转动连接有油泵从动齿,齿轮加压泵用于将第一腔体内的润滑油吸入并加压后泵送至雾化喷头内;本发明能够实现润滑油的循环利用,延长添加润滑油的间隔时间,降低使用成本,使用更方便;同时将润滑油变成雾状形态,增大润滑油的接触面积,润滑效果更好,使用寿命更长。
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公开(公告)号:CN111059447B
公开(公告)日:2021-04-02
申请号:CN201911374114.1
申请日:2019-12-27
申请人: 荆门微田智能科技有限公司
发明人: 曹七芳
IPC分类号: F16H57/04
摘要: 本发明公开了一种可实现润滑油循环利用的高铁用雨刷器,齿轮加压泵用于将第一腔体内的润滑油吸入并加压后泵送至雾化喷头内;本发明能够实现润滑油的循环利用,延长添加润滑油的间隔时间,降低使用成本,使用更方便;同时将润滑油变成雾状形态,增大润滑油的接触面积,润滑效果更好,使用寿命更长。
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