公开(公告)号：CN105683816A

公开(公告)日：2016-06-15

申请号：CN201480058227.X

申请日：2014-08-28

申请人： 莫克斯泰克公司

发明人： B·王 ,  T·旺根斯滕 ,  R·彼得罗娃 ,  M·布莱克 ,  S·马克思 ,  D·普罗布斯特 ,  M·A·戴维斯

IPC分类号： G02B27/28

CPC分类号： G02B5/3058 ,  C23F17/00 ,  G02B1/08 ,  G02B1/12

摘要： 本发明涉及线栅偏振器(10、20、30、40、50、60、70、80、90、100、110)和制造线栅偏振器的方法，所述线栅偏振器包括设置在基底(11)的表面上的平行、细长的纳米结构(15)的阵列。各纳米结构可包括设置在基底的表面上方的第一肋(14)和一对平行、细长的线(12)，每根线都关于彼此横向地取向并且设置在第一肋上方。所述线栅偏振器可以是耐用的，具有光的一种偏振的高透射率、高对比度和/或小节距。所述线栅偏振器也可具有光的相反偏振的高吸收或高反射。

公开(公告)号：CN106461844A

公开(公告)日：2017-02-22

申请号：CN201580027807.7

申请日：2015-05-01

申请人： 莫克斯泰克公司

发明人： A·黄 ,  D·普罗布斯特 ,  王滨 ,  李华

IPC分类号： G02B5/30

CPC分类号： G02B27/149 ,  G02B5/04 ,  G02B5/3058 ,  G02B27/142 ,  G02B27/283 ,  G02B27/285

摘要： 被设计为用于使反射束(R)和透射束(T)的光路长度基本上相等的立方体偏振器(10，40,80)。被设计为减小线栅偏振器的弯曲以便最小化反射束和透射束的波前畸变的立方体偏振器。

公开(公告)号：CN105683817A

公开(公告)日：2016-06-15

申请号：CN201480058235.4

申请日：2014-08-28

申请人： 莫克斯泰克公司

发明人： B·王 ,  T·旺根斯滕 ,  R·彼得罗娃 ,  M·布莱克 ,  S·马克思 ,  D·普罗布斯特

IPC分类号： G02B27/28

CPC分类号： G02B5/3058 ,  C23F17/00 ,  G02B1/08 ,  G02B1/12

摘要： 本发明涉及一种包括设置在基底(11)的表面上方的平行、细长的纳米结构(15)的阵列的线栅偏振器(10、20、30、90)。各纳米结构可包括一对平行、细长的线(16)或顶肋(12)，每根线或每个顶肋都关于彼此横向地取向。所述一对线(或顶肋)之间可设置有第一间隙(G1)。各纳米结构可通过设置在相邻的纳米结构之间和因而相邻的线对之间的第二间隙(G2)与相邻的纳米结构分离。第一间隙的第一间隙宽度(W1)可与第二间隙的第二间隙宽度(W2)不同。本发明还涉及制造线栅偏振器的方法。

公开(公告)号：CN106461844B

公开(公告)日：2019-08-09

申请号：CN201580027807.7

申请日：2015-05-01

申请人： 莫克斯泰克公司

发明人： A·黄 ,  D·普罗布斯特 ,  王滨 ,  李华

IPC分类号： G02B5/30

CPC分类号： G02B27/149 ,  G02B5/04 ,  G02B5/3058 ,  G02B27/142 ,  G02B27/283 ,  G02B27/285

摘要： 被设计为用于使反射束(R)和透射束(T)的光路长度基本上相等的立方体偏振器(10，40,80)。被设计为减小线栅偏振器的弯曲以便最小化反射束和透射束的波前畸变的立方体偏振器。

公开(公告)号：CN105659150A

公开(公告)日：2016-06-08

申请号：CN201480057978.X

申请日：2014-08-28

申请人： 莫克斯泰克公司

发明人： D·普罗布斯特 ,  Q·吴 ,  E·加德纳 ,  M·A·戴维斯

IPC分类号： G02B27/28

CPC分类号： G02B5/3058 ,  C23F17/00 ,  G02B1/08 ,  G02B1/12

摘要： 一种线栅偏振器(10、20、30、40、160、170、180、190)的结构和制作方法，该线栅偏振器具有多个区域，其包括沿着中央区域的侧面的侧条(15)、带(161)和/或侧肋状物(24)。中央区域可包括单个区域或多个区域。每个区域可具有用于改进偏振器性能的不同的功能。各种区域可彼此支撑以用于改进的线栅偏振器的耐久性。