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公开(公告)号:CN1878962A
公开(公告)日:2006-12-13
申请号:CN200480033429.5
申请日:2004-10-28
申请人: 莱博尔德真空技术有限责任公司
发明人: H·恩伦德尔
CPC分类号: F04D19/046 , F04D17/02 , F04D17/127 , F04D17/168
摘要: 本发明涉及到一种多级真空泵,其具有至少一个涡轮压缩机级(11),并在涡轮压缩机级的压缩端上设置有一个循环压缩机级(33)。所述泵的轴向尺寸小,无须明显增加空间就能使压缩增强。
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公开(公告)号:CN100453817C
公开(公告)日:2009-01-21
申请号:CN200480033429.5
申请日:2004-10-28
申请人: 莱博尔德真空技术有限责任公司
发明人: H·恩伦德尔
CPC分类号: F04D19/046 , F04D17/02 , F04D17/127 , F04D17/168
摘要: 本发明涉及到一种多级真空泵,其具有至少一个涡轮压缩机级(11),并在涡轮压缩机级的压缩端上设置有一个循环压缩机级(33)。所述泵的轴向尺寸小,无须明显增加空间就能使压缩增强。
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