显微镜的组件的维修预测
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116615717A

    公开(公告)日:2023-08-18

    申请号:CN202180082911.1

    申请日:2021-11-15

    Abstract: 一种用于显微镜的组件(100)包括至少一个传感器(102)和/或至少一个致动器(104),以及控制和评估单元(106)。所述控制和评估单元(106)被构造成用于查明传感器(102)和/或致动器(104)的参数的当前参数值,并且借助存储在所述控制和评估单元(106)中的统计模型(112)分析查明的参数值。此外,所述控制和评估单元(106)还被构造成:基于分析查明表征所述组件的运行状态的运行状态值,并且当运行状态值关于阈值满足预设的条件时,将该运行状态确定为异常的运行状态。

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