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公开(公告)号：CN1160586C
公开(公告)日：2004-08-04
申请号：CN00806921.2
申请日：2000-03-08
申请人： 西加特技术有限责任公司
CPC分类号： G02B5/0858 , G02B6/3518 , G02B6/4216 , G02B26/0833 , G02B26/0841 , G11B7/08564 , G11B7/122 , G11B7/1362 , G11B7/1365 , G11B7/1384 , G11B11/10543 , H02N1/008
摘要： 本发明揭示一种微加工反射器，它包括：平面基片(146)和固定在该平面基片上的反射层(147)。该反射层有应力，一种材料的附加层(148)固定在反射层上，该附加层的应力基本上与反射层应力相反，从而附加层的应力补偿了反射层的应力，增强了该微加工反射器的平面性。
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公开(公告)号：CN1316061A
公开(公告)日：2001-10-03
申请号：CN99807396.2
申请日：1999-04-15
申请人： 西加特技术有限责任公司
IPC分类号： G02B6/00
CPC分类号： G02B6/3656 , B81C3/008 , G02B6/366 , G02B6/3692 , G02B6/3893 , G02B6/42 , G02B6/4219 , G11B7/22
摘要： 提供了用于生产、装配(196)和测试精密微型部件的微机械加工工具和部件夹持器,尤其提供了适用于包括光学和/或电子元件的精密微型系统,其中光学和/或电子元件包括透镜(233,397)、光纤(197)等。本发明的结构和方法为用于数字计算机的光学辅助存储装置之读、写、或读/写磁光头的精密光学系统寻找到特殊的应用能力。在装配期间将部件粘合或固定到位时,可拆卸的工具用来进行临时定位,然后完全拆下,以便与另一光头组件一起使用。断开式工具或夹持器(326)一般包括三个主要部分：元件夹持器、手柄(313、314)以及将夹持器与手柄相连的断开式颈部。元件夹持器为光学、电气或机械元件提供了一个安装部件(395)。一旦将元件固定在安装部件上,便可通过手柄将它们移入较大组件内的某个位置。将安装部件(395)与组件粘合,对手柄施加一较小的可预测的力,致使颈部断裂,将手柄与此时固定于组件上的夹持器分离。工具可以用以下方式制作,即进行图案光刻,并且刻蚀诸如硅等衬底,以便有选择地雕刻衬底。本发明还提供了在基底材料上通过电镀金属制成的结构,或者完全由金属制成的结构。还提供了用于制作本发明结构的几个过程的实施例。
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公开(公告)号：CN1292945A
公开(公告)日：2001-04-25
申请号：CN99803875.X
申请日：1999-01-12
申请人： 西加特技术有限责任公司
CPC分类号： G02B6/3518 , G02B6/3546 , G02B6/3548 , G02B6/3566 , G02B6/357 , G02B6/358 , G02B6/3584 , G02B6/4216 , G02B26/0833 , G02B26/0841 , G11B7/122 , G11B7/1384 , G11B11/10543 , H02N1/008
摘要： 静电微型致动器(101)包括衬底(213)和至少一个具有第一与第二梳状驱动件(210a、208a)的梳状驱动组件,每个梳状驱动件配有梳状驱动指(212、211),第一驱动件装在衬底上,第二驱动件覆盖衬底。还包括第一与第二间开隔的梁状弹性件(214、217),至少一个驱动组件置于两个弹性件之间。弹性件第一端部(243)固定到衬底,第二端部(244)固定到第二驱动件。第二驱动件可在第一与第二位置之间移动。
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公开(公告)号：CN1175290C
公开(公告)日：2004-11-10
申请号：CN99807396.2
申请日：1999-04-15
申请人： 西加特技术有限责任公司
IPC分类号： G02B6/00
CPC分类号： G02B6/3656 , B81C3/008 , G02B6/366 , G02B6/3692 , G02B6/3893 , G02B6/42 , G02B6/4219 , G11B7/22
摘要： 提供了用于生产、装配(196)和测试精密微型部件的微机械加工工具和部件夹持器，尤其提供了适用于包括光学和/或电子元件的精密微型系统，其中光学和/或电子元件包括透镜(233，397)、光纤(197)等。本发明的结构和方法为用于数字计算机的光学辅助存储装置之读、写、或读/写磁光头的精密光学系统寻找到特殊的应用能力。在装配期间将部件粘合或固定到位时，可拆卸的工具用来进行临时定位，然后完全拆下，以便与另一光头组件一起使用。断开式工具或夹持器(326)一般包括三个主要部分：元件夹持器、手柄(313、314)以及将夹持器与手柄相连的断开式颈部。元件夹持器为光学、电气或机械元件提供了一个安装部件(395)。一旦将元件固定在安装部件上，便可通过手柄将它们移入较大组件内的某个位置。将安装部件(395)与组件粘合，对手柄施加一较小的可预测的力，致使颈部断裂，将手柄与此时固定于组件上的夹持器分离。工具可以用以下方式制作，即进行图案光刻，并且刻蚀诸如硅等衬底，以便有选择地雕刻衬底。本发明还提供了在基底材料上通过电镀金属制成的结构，或者完全由金属制成的结构。还提供了用于制作本发明结构的几个过程的实施例。
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公开(公告)号：CN1128440C
公开(公告)日：2003-11-19
申请号：CN99812840.6
申请日：1999-09-17
申请人： 西加特技术有限责任公司
IPC分类号： G11B7/00
CPC分类号： G11B7/122 , G02B7/1821 , G02B26/085 , G11B7/08564 , H02N1/006
摘要： 一种用于使一光束转向的微米尺寸的反射器组件(200)。该反射器组件包括一平基部(301)和一与该平基部隔开并基本平行于该平基部而设置的平反射器(220)。该平反射器具有第一和第二端部(220a，220b)以及一延伸于第一和第二端部之间的纵轴线(303)；第一和第二扭转件(306，307)沿该纵轴线延伸并分别连接于第一和第二端部，以允许反射器相对于平基部绕纵轴线在第一和第二位置之间摇动。第一和第二扭转件固定于平基部。反射器至少一部分是由导电材料制成。平基部携带有隔开的第一和第二电极(322，323)，用于在第一和第二位置之间驱动反射器。相对于纵轴线而横向延伸有一系链件(431)，它固定于第一扭转件并连接于平基部。该系链件调节反射器的摇动。
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公开(公告)号：CN1349617A
公开(公告)日：2002-05-15
申请号：CN00806921.2
申请日：2000-03-08
申请人： 西加特技术有限责任公司
CPC分类号： G02B5/0858 , G02B6/3518 , G02B6/4216 , G02B26/0833 , G02B26/0841 , G11B7/08564 , G11B7/122 , G11B7/1362 , G11B7/1365 , G11B7/1384 , G11B11/10543 , H02N1/008
摘要： 本发明揭示一种微加工反射器,它包括:平面基片(146)和固定在该平面基片上的反射层(147)。该反射层有应力,一种材料的附加层(148)固定在反射层上,该附加层的应力基本上与反射层应力相反,从而附加层的应力补偿了反射层的应力,增强了该微加工反射器的平面性。
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公开(公告)号：CN1325530A
公开(公告)日：2001-12-05
申请号：CN99812840.6
申请日：1999-09-17
申请人： 西加特技术有限责任公司
IPC分类号： G11B7/00
CPC分类号： G11B7/122 , G02B7/1821 , G02B26/085 , G11B7/08564 , H02N1/006
摘要： 一种用于使一光束转向的微米尺寸的反射器组件(200)。该反射器组件包括一平基部(301)和一与该平基部隔开并基本平行于该平基部而设置的平反射器(220)。该平反射器具有第一和第二端部(220a,220b)以及一延伸于第一和第二端部之间的纵轴线(303);第一和第二扭转件(306,307)沿该纵轴线延伸并分别连接于第一和第二端部,以允许反射器相对于平基部绕纵轴线在第一和第二位置之间摇动。第一和第二扭转件固定于平基部。反射器至少一部分是由导电材料制成。平基部携带有隔开的第一和第二电极(322,323),用于在第一和第二位置之间驱动反射器。相对于纵轴线而横向延伸有一系链件(431),它固定于第一扭转件并连接于平基部。该系链件调节反射器的摇动。
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