一种光学系统受迫振动的在线测量方法及装置

    公开(公告)号:CN102735423B

    公开(公告)日:2015-06-10

    申请号:CN201210222680.2

    申请日:2012-06-29

    Abstract: 本发明公开了一种光学系统受迫振动的在线测量装置,包括在光路上依次设置的分束片、成像透镜、衰减器、CCD相机和图像处理单元,其中成像透镜、衰减器和CCD相机设置在隔振平台上;该在线测量装置不仅能够在线测量振动信号对光学系统光束的稳定性影响,而且能够测量振动信号本身的频谱特性,适用于有源光学系统和无源光学系统,并具有简便高效,测量范围大、精度和灵敏度高等特点。

    一种光学系统受迫振动的在线测量方法及装置

    公开(公告)号:CN102735423A

    公开(公告)日:2012-10-17

    申请号:CN201210222680.2

    申请日:2012-06-29

    Abstract: 本发明公开了一种光学系统受迫振动的在线测量装置,包括在光路上依次设置的分束片、成像透镜、衰减器、CCD相机和图像处理单元,其中成像透镜、衰减器和CCD相机设置在隔振平台上;该在线测量装置不仅能够在线测量振动信号对光学系统光束的稳定性影响,而且能够测量振动信号本身的频谱特性,适用于有源光学系统和无源光学系统,并具有简便高效,测量范围大、精度和灵敏度高等特点。

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