公开(公告)号：CN117263653A

公开(公告)日：2023-12-22

申请号：CN202311250111.3

申请日：2023-09-26

Applicant: 西北稀有金属材料研究院宁夏有限公司

Inventor： 孟将 ,  胡强楠 ,  征卫星 ,  李正飞 ,  罗文 ,  张帅 ,  左宁伟 ,  杨龙 ,  韩建华 ,  王欢 ,  马肖

IPC: C04B35/01 ,  C04B35/622 ,  C23C14/35 ,  C23C14/34

Abstract: 本发明给出了一种IZO靶材及其制备方法，属于靶材技术领域，该方法包括：将氧化铟粉末、掺杂金属氧化物粉末和氧化锌粉末在水中混合均匀，得到固含量为55～65％的浆料；向所述浆料加入聚乙烯羧酸分散剂后，搅拌28～32分钟，并在砂磨机内研磨，再加入聚乙烯醇粘结剂，分散28～32分钟后，喷雾造粒制成粉末；将喷雾造粒制成的粉末依次进行冷压成型和冷等静压成型，得到冷等静压素坯；将所述冷等静压素坯依次进行脱脂烧结、随炉冷却至室温后，再进行机械加工处理，得到IZO靶材。本发明的IZO靶材的相对密度高，电阻率低，弯曲强度高，组织成分均匀，晶粒尺寸校，具有优良的电学及力学性能。

公开(公告)号：CN117247274A

公开(公告)日：2023-12-19

申请号：CN202311250365.5

申请日：2023-09-26

Applicant: 西北稀有金属材料研究院宁夏有限公司

Inventor： 孟将 ,  征卫星 ,  罗文 ,  左宁伟 ,  胡强楠 ,  李正飞 ,  王欢 ,  张子富 ,  张帅 ,  杨龙 ,  马肖

IPC: C04B35/457 ,  C04B35/622 ,  C23C14/34 ,  C23C14/08 ,  C23C14/32

Abstract: 本发明给出了一种掺Nb的含钽氧化锡靶材及其制备方法，属于靶材制造技术领域，该制备方法包括：步骤S1、将氧化锡粉末、氧化钽粉末和氧化铌粉末在水中混合均匀，得到固含量为40～80％的浆料；步骤S2、将聚乙烯羧酸分散剂加入所述浆料后，搅拌25～35分钟，然后砂磨处理，再加入聚乙烯醇粘结剂，分散25～35分钟后，喷雾造粒制粉；步骤S3、将步骤S2中所得的粉末冷压成型，得到冷压素坯；步骤S4、将冷压素坯冷等静压成型，得到冷等静压素坯；步骤S5、对冷等静压素坯依次进行脱脂烧结和表面加工处理，得到含钽氧化锡靶材。本发明能够得到晶粒尺寸均匀、体电阻率低、且密度高的Nb掺杂的含钽氧化锡靶材。