公开(公告)号：CN109000792A

公开(公告)日：2018-12-14

申请号：CN201810812775.7

申请日：2018-07-23

申请人： 西南交通大学

发明人： 王轶文 ,  官怀 ,  戴茂春 ,  刘想靓 ,  郭伟杰 ,  贺青 ,  喻峰 ,  宋成 ,  高海燕 ,  高湔松 ,  韦联福

IPC分类号： G01J1/42

摘要： 本发明公开了一种光子数目和能量可分辨的超导微波动态电感探测器，核心部分为集总结构的超导谐振器，包括用于抑制衬底中二能级杂质噪声的交指电容和作为光吸收区域的电感条；电感条嵌设于交指电容上，并与交指电容并联；电感条的材质为TiN薄膜，其超导转变温度为0.9K，厚度为20nm，面积为10μm×10μm；交指电容的材质为Al薄膜，其超导转变温度为1.2K，厚度为200nm，线宽为5μm，面积为0.6mm×0.6mm；电感条下方的Si衬底呈悬浮状态，Si衬底的厚度为10μm；在TiN薄膜的上表面均匀镀一层特定厚度的增透膜，在其下方均匀镀一层金属增反膜。