公开(公告)号：CN115942583A

公开(公告)日：2023-04-07

申请号：CN202211634427.8

申请日：2022-12-19

申请人： 西安交通大学

发明人： 王永生 ,  靳文庸 ,  彭明斌 ,  丁卫东

IPC分类号： H05H1/02 ,  H05H1/34 ,  H05H1/00

摘要： 本发明属于等离子体应用领域，涉及一种轴向磁场调控低温等离子体的材料表面处理装置，包括外筒、高压尖电极、平板地电极、电磁线圈及磁芯；高压尖电极一端贯穿于左盖板并伸入在放电腔体中，另一端与高压电源连接；平板地电极设置在外筒内且与高压尖电极相对设置，平板地电极靠近高压尖电极一面上预制有用于放置待处理材料的放置台；在外筒外围横向设有电磁线圈，电磁线圈与磁控单元连接；在外筒内壁上设有磁芯；在左盖板上开有进气孔，在右盖板上开有出气孔。在高压尖电极和平板地电极之间可以获取大气压辉光放电等离子体的大面积弥散分布，分布空间的大小可以通过磁场强度大小来精确调节，实现大气压辉光放电弥散低温等离子体分布空间的扩展。

公开(公告)号：CN115734445A

公开(公告)日：2023-03-03

申请号：CN202211517880.0

申请日：2022-11-29

申请人： 西安交通大学

发明人： 王永生 ,  彭明斌 ,  王亚楠 ,  丁卫东

IPC分类号： H05H1/00 ,  H05H1/10 ,  H05H1/24

摘要： 本发明属于大气压辉光放电领域，涉及一种横向磁场调控的低温等离子体处理装置，包括为电源单元，内置高压尖电极、环形接地电极、电磁线圈的放电单元，气体单元，气控单元，磁控单元，盛放处理液体或者收集在放电单元中完成处理的气体产物的试品单元；高压尖电极的放电端为尖端，环形接地电极的环径向内侧预制轴向对称切角；在外筒内表面上设有磁芯，磁芯包括第一环形磁芯和第二环形磁芯。该装置通过大幅增加放电区域来提高低温等离子体中高能活性粒子产生效率，既可以利用某种特定介质气体的放电过程产生富含高能活性粒子用于后续液体的处理，也可以直接在气体单元中将待处理气体与介质气体按比例进行混合后直接在放电单元中完成处理。