公开(公告)号：CN116794399A

公开(公告)日：2023-09-22

申请号：CN202310411177.X

申请日：2023-04-17

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 陈玉 ,  钟辉 ,  郝义 ,  侯潇涵 ,  李昌熹 ,  岳东立 ,  李志超 ,  王双 ,  成永红

IPC: G01R27/08 ,  G01R27/02

Abstract: 本发明提供一种半导体材料稳态X射线辐射感应电导率测试仪，包括真空箱和与所述真空箱上连接设置的抽真空组件，所述真空箱包括设置有真空腔体的箱体和与所述箱体适配的盖板，所述真空箱外设置有X射线源，所述真空箱内可拆卸地设置有样品装夹单元；所述X射线源发射的X射线穿过开设在箱体底板上的真空窗口入射到样品装夹单元上；所述箱体的第一侧壁上开设有测试信号接口，所述测试信号接口的一端连接样品装夹单元，另一端连接信号处理模块；所述信号处理模块还与X射线源连接；所述信号处理模块采用范德堡法测量待测样品的X射线辐射感应电导率。本发明装置能够在一套设备中实现连续能谱和单能X射线辐射感应电导率测试的复用。

公开(公告)号：CN116699247A

公开(公告)日：2023-09-05

申请号：CN202310408767.7

申请日：2023-04-17

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 陈玉 ,  钟辉 ,  岳东立 ,  李志超 ,  李昌熹 ,  侯潇涵 ,  郝义 ,  王双 ,  成永红

IPC: G01R27/08 ,  G01R27/02

Abstract: 本发明公开了一种介质材料稳态X射线辐射感应电导率测试仪，包括真空箱，真空箱外部还安装有X射线源，真空箱内部还安装有样品装夹单元，X射线源能够照射到样品装夹单元；样品装夹单元与设置在真空箱外部的信号处理单元连接，信号处理单元还与X射线源连接；本发明的介质材料稳态X射线辐射感应电导率测试仪，能够很好的产生连续能量和单能X射线并对介质材料在X射线作用下的辐射感应电导率进行分析测试；在实现对半导体材料稳态X射线辐射感应电导率的测定的同时，还确保了装置具有良好的电磁屏蔽性能和X射线准直屏蔽性能，能够使X射线源出射的X射线仅照射到待测样品上，有效消除了X射线对信号处理模块的影响。