公开(公告)号：CN118835317A

公开(公告)日：2024-10-25

申请号：CN202410849628.2

申请日：2024-06-27

申请人： 西安交通大学

发明人： 张锦英 ,  赵雪雯 ,  温卓睿 ,  翟锐 ,  谷梦玥

IPC分类号： C30B29/10 ,  C30B29/64 ,  C30B11/00 ,  H01L29/24 ,  H01L29/04 ,  H01L29/772 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00

摘要： 本发明公开了一种紫磷砷单晶及其制备方法和在场效应晶体管中的应用，本发明公开的紫磷砷单晶，以质量百分比计，其元素组成包括88.8％～97.4％的磷和2.6％～11.2％的砷；该紫磷砷单晶为单斜晶格结构，原紫磷晶胞中的P1和P2位置分别由砷、磷原子占据，形成As1/P1和As2/P2的混合占据位点。本发明首次通过熔融法制备了紫磷砷单晶并且通过单晶XRD首次标定了紫磷砷单晶的晶体结构，并且该方法可以通过系统控制紫磷砷单晶的熔融法生长，因而能够实现高质量的紫磷砷的高效率、高产量和可控制备，该方法工艺简单，有利于大规模生产。