公开(公告)号：CN113740614A

公开(公告)日：2021-12-03

申请号：CN202111016847.5

申请日：2021-08-31

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 周峻 ,  陈承相 ,  李永飞 ,  吴锴

IPC: G01R27/26 ,  G01Q60/00

Abstract: 基于开尔文探针力显微镜的材料介电常数测量方法及系统，测量方法包括：将待测样品固定在样品台上，通过开环双谐振模式的开尔文探针力显微镜进行扫描；探针逐渐下降接近待测样品，第一次扫描得到样品的形貌，记录样品厚度信息，设置探针与样品距离，进行第二次扫描，得到样品的表面电位，记录样品的电信号；利用锁相放大器检测针尖到氧化硅、针尖到样品的二倍频振幅信号；针对开环双谐振模式的开尔文探针力显微镜求解其探针悬臂实际的弹性系数；求得探针悬臂实际的弹性系数，提取待测样品的二倍频振幅信号，计算得到对应电容梯度信号，根据针尖对待测样品的电容梯度公式计算得到待测样品的实际介电常数，完成测量。本发明能提高测量的准确性。

公开(公告)号：CN113740614B

公开(公告)日：2023-04-07

申请号：CN202111016847.5

申请日：2021-08-31

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 周峻 ,  陈承相 ,  李永飞 ,  吴锴

IPC: G01R27/26 ,  G01Q60/00

Abstract: 基于开尔文探针力显微镜的材料介电常数测量方法及系统，测量方法包括：将待测样品固定在样品台上，通过开环双谐振模式的开尔文探针力显微镜进行扫描；探针逐渐下降接近待测样品，第一次扫描得到样品的形貌，记录样品厚度信息，设置探针与样品距离，进行第二次扫描，得到样品的表面电位，记录样品的电信号；利用锁相放大器检测针尖到氧化硅、针尖到样品的二倍频振幅信号；针对开环双谐振模式的开尔文探针力显微镜求解其探针悬臂实际的弹性系数；求得探针悬臂实际的弹性系数，提取待测样品的二倍频振幅信号，计算得到对应电容梯度信号，根据针尖对待测样品的电容梯度公式计算得到待测样品的实际介电常数，完成测量。本发明能提高测量的准确性。