公开(公告)号：CN105180839A

公开(公告)日：2015-12-23

申请号：CN201510633568.1

申请日：2015-09-29

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 李兵 ,  刘晓 ,  康晓清 ,  高芬 ,  王曰根

IPC: G01B11/25

Abstract: 一种基于最小PV值的非球面测量Z轴定位方法，根据非球面参数计算最小PV值对应的最佳参考球面波半径、最佳参考球面波顶点偏离量，得到最小PV值对应的理论测量位置；然后通过干涉条纹找到测量猫眼位置，以测量猫眼位置作为Z轴的测量零位，通过精密导轨沿Z轴移动非球面至理论测量位置处，得到Z轴初步定位位置，再在Z轴初步定位位置的±0.5mm范围内，沿Z轴前后移动非球面，利用干涉仪进行多次测量，直至得到Z轴微米级分辨率下的最小PV值，记录此时最小PV值所对应的Z轴实测位置；计算最小PV值对应的实测位置与理论测量位置的差值，完成非球面测量时的Z轴高精度定位，本发明实现非球面测量时的Z轴高精度定位。

公开(公告)号：CN105180839B

公开(公告)日：2018-04-17

申请号：CN201510633568.1

申请日：2015-09-29

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 李兵 ,  刘晓 ,  康晓清 ,  高芬 ,  王曰根

IPC: G01B11/25

Abstract: 一种基于最小PV值的非球面测量Z轴定位方法，根据非球面参数计算最小PV值对应的最佳参考球面波半径、最佳参考球面波顶点偏离量，得到最小PV值对应的理论测量位置；然后通过干涉条纹找到测量猫眼位置，以测量猫眼位置作为Z轴的测量零位，通过精密导轨沿Z轴移动非球面至理论测量位置处，得到Z轴初步定位位置，再在Z轴初步定位位置的±0.5mm范围内，沿Z轴前后移动非球面，利用干涉仪进行多次测量，直至得到Z轴微米级分辨率下的最小PV值，记录此时最小PV值所对应的Z轴实测位置；计算最小PV值对应的实测位置与理论测量位置的差值，完成非球面测量时的Z轴高精度定位，本发明实现非球面测量时的Z轴高精度定位。