公开(公告)号：CN102759856A

公开(公告)日：2012-10-31

申请号：CN201210247466.2

申请日：2012-07-17

申请人： 西安交通大学 ,  西安瑞特快速制造工程研究有限公司

发明人： 刘红忠 ,  史永胜 ,  范禅金 ,  尹磊 ,  冯龙 ,  蒋维涛 ,  卢秉恒

IPC分类号： G03F7/00 ,  G02B27/09

摘要： 本发明公开一种激光辅助辊压印制造机床用反射型长光栅的工艺方法：将准分子激光的出射光束调制成光强均匀分布的线状光束；再将之始终定向照射于压印区域；使压印区域光栅尺胚上表面的金属材料在压印的瞬间被加热至其熔点附近的温度，从而使该区域的金属具备一定的流动性，能够在较小的压印力下，完成向石英辊压印模具上光栅微结构槽形凹腔中填充，被加热区域脱离激光辐照区域后金属材料瞬时冷却固化使光栅线纹微结构保型，完成光栅线纹从辊压印模具到光栅尺胚上的高精度复型。本发明方法适用于反射型长光栅(一米以上)，及至超长光栅(几米及至几十、上百米的柔性金属带材)的高精度、低成本的批量制造，极具推广价值与应用前景。