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公开(公告)号：CN110202472A
公开(公告)日：2019-09-06
申请号：CN201910470607.9
申请日：2019-05-31
Applicant: 西安理工大学
Abstract: 本发明公开了一种闭式静压导轨运动精度的压电调控装置，包括固定连接在静压导轨的底座上的装置固定支架，装置固定支架顶部与静压导轨的底座之间安装有压电调控组件，压电调控组件自上而下由固定预紧组件、压电晶体组件、末端连接组件构成，其中压电晶体组件与驱动器连接，压电调控组件底部设置有导轨压板，导轨压板底部设置有导轨滑块，导轨滑块位于静压导轨的底座上，静压导轨的底座上还安装有传感器支架，传感器支架上设置有距离传感器，距离传感器实时监测导轨滑块的位置信息，本发明还公开了闭式静压导轨运动精度的压电调控装置的压电调控方法，解决了现有技术中存在的静压导轨工作时导轨形面变形对运动直线精度造成影响的问题。
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公开(公告)号：CN110202472B
公开(公告)日：2021-11-16
申请号：CN201910470607.9
申请日：2019-05-31
Applicant: 西安理工大学
Abstract: 本发明公开了一种闭式静压导轨运动精度的压电调控装置，包括固定连接在静压导轨的底座上的装置固定支架，装置固定支架顶部与静压导轨的底座之间安装有压电调控组件，压电调控组件自上而下由固定预紧组件、压电晶体组件、末端连接组件构成，其中压电晶体组件与驱动器连接，压电调控组件底部设置有导轨压板，导轨压板底部设置有导轨滑块，导轨滑块位于静压导轨的底座上，静压导轨的底座上还安装有传感器支架，传感器支架上设置有距离传感器，距离传感器实时监测导轨滑块的位置信息，本发明还公开了闭式静压导轨运动精度的压电调控装置的压电调控方法，解决了现有技术中存在的静压导轨工作时导轨形面变形对运动直线精度造成影响的问题。
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