公开(公告)号：CN115825000A

公开(公告)日：2023-03-21

申请号：CN202211349820.2

申请日：2022-10-31

申请人： 西安电子科技大学

发明人： 包为民 ,  李小平 ,  刘彦明 ,  赵成伟 ,  魏强 ,  夏冬 ,  孙超 ,  刘东林 ,  张佳 ,  邓伟锋 ,  贾静 ,  张天佑 ,  梁鑫 ,  刘康

IPC分类号： G01N21/3581 ,  G01N22/00 ,  G01N21/59 ,  G01K7/02

摘要： 本发明针对于宽电子密度范围(1×1010～1.5×1013)的等离子体公开了一种等离子体参数微波‑激光联合实时诊断系统和一种等离子体参数微波‑激光联合实时诊断方法，可对连续点火的等离子体开展实时、高精度的电子密度诊断。针对于电感耦合(ICP)产生的等离子体，在等离子体区域两侧架设微波透射诊断系统和远红外激光干涉仪，低电子密度状态采用微波诊断系统，高电子密度状态采用激光诊断。两种诊断系统在等离子体中传输路径不同，通过不同位置诊断结果试验，对诊断数据进行修正。在不同激励功率温度不同，通过热电偶测量透镜天线表面温度，对相位漂移进行修正，从而对连续点火下的宽范围等离子体开展高精度的联合实时诊断。