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发明公开
基于NiTiO3/Ni3TiO5敏感材料的二甲苯传感器及其制备方法与应用审中-实审

公开(公告)号：CN115598200A

公开(公告)日：2023-01-13

申请号：CN202211126928.5

申请日：2022-09-16

申请人： 西安电子科技大学(CN) , 扬州嗅天电子科技有限公司(CN)

发明人： 程鹏飞 , 王莹麟 , 孙善富 , 张悦 , 郝熙冬 , 黄明 , 许录平

IPC分类号： G01N27/407

摘要： 本发明涉及一种基于NiTiO3/Ni3TiO5敏感材料的二甲苯传感器及其制备方法与应用，该制备方法包括：步骤1：将氟钛酸铵、六水合氯化镍和尿素溶于去离子水中，利用水热法制备得到毛线球状NiTiO3/Ni3TiO5敏感材料；步骤2：将毛线球状NiTiO3/Ni3TiO5敏感材料均匀地涂覆在Al2O3陶瓷管外表面，形成气敏材料薄膜，将涂覆有气敏材料薄膜的Al2O3陶瓷管按照旁热式气敏元件进行组装和焊接，得到基于NiTiO3/Ni3TiO5敏感材料的二甲苯传感器。本发明将NiTiO3/Ni3TiO5作为新型复合材料，应用于MOS气体传感器，使得气体传感器的气敏特性显著提高。