公开(公告)号：CN116901096A

公开(公告)日：2023-10-20

申请号：CN202310541708.7

申请日：2023-05-12

申请人： 西安电子科技大学重庆集成电路创新研究院

发明人： 王利明 ,  韩钊 ,  胡霁亭 ,  苗田 ,  张宁宁 ,  胡辉勇

IPC分类号： B25J11/00 ,  B25J19/00

摘要： 本发明公开了一种机器人探测器，涉及微电子技术领域，包括：主体；多个支腿，与主体固定连接，支腿包括活动连接的第一支部和第二支部，且第一支部与第二支部之间的夹角不为0，每个支腿为一个独立的弹簧悬挂系统；辅助支腿，与主体固定连接，辅助支腿不受压力作用；辅助支腿包括电阻式压力传感器；光探测器阵列，与主体固定连接，光探测器阵列包括多个光探测器；电阻式压力传感器与光探测器阵列集成于同一电路，通过电阻式压力传感器探测凹陷，通过光探测器阵列识别障碍物。本发明能够降低处理器对数据处理的复杂度，提高了机器人探测器的可靠性。

公开(公告)号：CN114388649A

公开(公告)日：2022-04-22

申请号：CN202111294721.4

申请日：2021-11-03

申请人： 西安电子科技大学重庆集成电路创新研究院

发明人： 王利明 ,  张宁宁 ,  胡辉勇 ,  王博 ,  张一驰 ,  杨茂龙 ,  郝跃凯

IPC分类号： H01L31/108 ,  H01L31/0288 ,  H01L31/18 ,  B82Y15/00 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00

摘要： 本发明公开了用金属纳米颗粒修饰的Ge纳米柱光电探测器及制备方法，其特征在于，包括：底部电极；本征Ge衬底层，覆盖所述底部电极；多个Ge纳米柱，呈周期性的排布于所述本征Ge衬底层上；所述Ge纳米柱的表面吸附有金属纳米颗粒；所述金属的功函数大于4.46eV；石墨烯电极，覆盖在所述多个Ge纳米柱上，并和所述本征Ge衬底层间隔非导电的介质材料。本发明提供的用金属纳米颗粒修饰的Ge纳米柱光电探测器，暗电流小、光电流以及响应度较高，具有较高的探测性能。