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公开(公告)号:CN102449191A
公开(公告)日:2012-05-09
申请号:CN201080022695.3
申请日:2010-05-12
Applicant: 西门子公司
CPC classification number: C23C18/14 , C23C18/1208 , C23C18/1216 , C23C18/1225 , C23C18/127
Abstract: 本发明涉及在衬底(11)上制造陶瓷层(15)的方法。为此,使用含有化学前驱体的涂层材料。该前驱体通过热处理转化成要制造的陶瓷。本发明提供了用于向各个层中输入热的不同方法。这通过吸收颗粒(16)实现,吸收颗粒(16)可以不同浓度或不同化学组成使用。由此,即使在较低的层区域中也可以针对性地输入热,例如除了传统的热输入(19)之外通过微波激发(16)或UV或IR光输入。因此有利地,较厚的层特别可以通过单个热处理层制备。
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公开(公告)号:CN102449191B
公开(公告)日:2013-09-18
申请号:CN201080022695.3
申请日:2010-05-12
Applicant: 西门子公司
CPC classification number: C23C18/14 , C23C18/1208 , C23C18/1216 , C23C18/1225 , C23C18/127
Abstract: 本发明涉及在衬底(11)上制造陶瓷层(15)的方法。为此,使用含有化学前驱体的涂层材料。该前驱体通过热处理转化成要制造的陶瓷。本发明提供了用于向各个层中输入热的不同方法。这通过吸收颗粒(16)实现,吸收颗粒(16)可以不同浓度或不同化学组成使用。由此,即使在较低的层区域中也可以针对性地输入热,例如除了传统的热输入(19)之外通过微波激发(16)或UV或IR光输入。因此有利地,较厚的层特别可以通过单个热处理层制备。
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