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公开(公告)号:CN1133484A
公开(公告)日:1996-10-16
申请号:CN95119911.0
申请日:1995-10-26
Applicant: 西门子公司
Inventor: E·普赖斯
CPC classification number: H01J37/1477 , H01J35/02 , H01J37/05 , H01J49/288 , H01J49/48
Abstract: 本发明的对象是一个垂直于电子束轴线(OA)定向的产生EXB场的偏转单元(韦氏滤波器),它只将强大的横向力作用到带正电的气体离子上,但并不影响电子的运动。这个致偏单元主要包括两个处于固定电位(Vo)的管电极(RA,PE),一个静电八极偏转器(ED)和两个环形包围着这个八极偏转器(ED)的马鞍形线圈对(SPI,SPA)。
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公开(公告)号:CN1084925C
公开(公告)日:2002-05-15
申请号:CN95119911.0
申请日:1995-10-26
Applicant: 西门子公司
Inventor: E·普赖斯
CPC classification number: H01J37/1477 , H01J35/02 , H01J37/05 , H01J49/288 , H01J49/48
Abstract: 本发明的对象是一个垂直于电子束轴线(OA)定向的产生EXB场的偏转单元(韦氏滤波器),它只将强大的横向力作用到带正电的气体离子上,但并不影响电子的运动。这个致偏单元主要包括两个处于固定电位(V0)的管电极(RA,PE),一个静电八极偏转器(ED)和两个环形包围着这个八极偏转器(ED)的马鞍形线圈对(SPI,SPA)。
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