用于材料处理的激光装置

    公开(公告)号:CN110267765A

    公开(公告)日:2019-09-20

    申请号:CN201880010812.0

    申请日:2018-03-05

    摘要: 一种用于材料处理、特别是用于对人眼(12)进行激光处理的激光装置(10),所述激光装置包括脉冲激光束(16)的源(14);检测器系统,所述检测器系统用于对通过辐射耦合输出而从所述激光束产生的多个部分光束(16’,16”)进行光电检测并提供相应检测信号,以及评估单元(24),所述评估单元连接至所述检测器系统、用于评估所述检测信号。所述检测器系统的第一检测元件(32)提供第一检测信号,所述信号基于单光子吸收。所述检测器系统的第二检测元件(34)提供第二检测信号,所述信号基于双光子吸收。在某些实施例中,所述控制单元将所述两个检测信号的测得信号强度变成彼此的比值。假设所述激光束(16)的脉冲重复率均匀并且所述激光装置的平均功率不变,则所得比值的变化可以追溯到所述激光束16的脉冲持续时间或/和波前的变化。因为控制单元启动合适的对策,因此可以在激光装置的发射操作期间维持激光束的光束质量。