公开(公告)号：CN104851472B

公开(公告)日：2017-11-10

申请号：CN201510081368.X

申请日：2015-02-15

申请人： 贺利氏特种光源有限责任公司

发明人： J.Z.洛特 ,  K-W.布里登 ,  S.施勒姆普

IPC分类号： G21K5/00 ,  G21K5/10

CPC分类号： G21K5/10 ,  A61L2/10 ,  B41F23/0406 ,  B41F23/0409 ,  B65B55/16 ,  H01L21/263 ,  H01L21/324

摘要： 已知的用于以UV辐射器辐射基片的辐射装置的运行方法包括以下方法步骤：（a）以额定运行辐射功率来运行UV辐射器，（b）以输入速度连续地将基片输入辐射区域内，（c）在通过UV辐射器确定的辐射区域内辐射基片。为了由此出发说明一种简单并且成本低廉的用于辐射装置的运行方法用以实现制造过程中断之后较短的起动时间，按本发明提出在连续的基片输入中断时断开UV辐射器，其中测量断开的辐射器的辐射器温度，并且采取对应措施阻止辐射器温度下降到低于额定运行温度10℃以上。

公开(公告)号：CN104851472A

公开(公告)日：2015-08-19

申请号：CN201510081368.X

申请日：2015-02-15

申请人： 贺利氏特种光源有限责任公司

发明人： J.Z.洛特 ,  K-W.布里登 ,  S.施勒姆普

IPC分类号： G21K5/00 ,  G21K5/10

CPC分类号： G21K5/10 ,  A61L2/10 ,  B41F23/0406 ,  B41F23/0409 ,  B65B55/16 ,  H01L21/263 ,  H01L21/324

摘要： 已知的用于以UV辐射器辐射基片的辐射装置的运行方法包括以下方法步骤：（a）以额定运行辐射功率来运行UV辐射器，（b）以输入速度连续地将基片输入辐射区域内，（c）在通过UV辐射器确定的辐射区域内辐射基片。为了由此出发说明一种简单并且成本低廉的用于辐射装置的运行方法用以实现制造过程中断之后较短的起动时间，按本发明提出在连续的基片输入中断时断开UV辐射器，其中测量断开的辐射器的辐射器温度，并且采取对应措施阻止辐射器温度下降到低于额定运行温度10℃以上。