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公开(公告)号：CN118423369B
公开(公告)日：2024-09-24
申请号：CN202410900224.1
申请日：2024-07-05
申请人： 迈为技术(珠海)有限公司
摘要： 本发明公开一种止推气浮轴承及其加工方法，涉及轴承的技术领域，其中，其包括轴承本体以及均压环，轴承本体的工作面开设有环绕于轴承本体的中心轴线设置的均压槽，均压槽的内外两侧槽壁的间距自槽底往槽口方向逐渐扩大，均压槽的槽底等间隔设置有若干出气口，均压环的外侧壁与均压槽的外侧槽壁配合形成往外倾斜的导流结构。导流结构为空气提供了一个稳定的流动路径，更有效地引导位于均压槽内的空气往轴承本体外侧方向流动，以减少均压槽内，以及轴承本体与相关部件之间所产生的湍流和涡流，达到提高止推气浮轴承稳定性的目的。而通过在均压槽上安装均压环形成导流结构，能够有效降低肢体气浮轴承的加工难度以及工艺成本。
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公开(公告)号：CN118650572A
公开(公告)日：2024-09-17
申请号：CN202411122943.1
申请日：2024-08-15
申请人： 迈为技术(珠海)有限公司
IPC分类号： B25B11/00
摘要： 本发明公开一种夹紧装置，涉及夹具的技术领域，该夹紧装置包括支撑套筒、双头螺杆、承托组件以及夹爪组件，双头螺杆可转动地设置于安装空间并往置物口方向延伸，双头螺杆具有相连且螺向相反的第一杆段以及第二杆段。承托组件与第一杆段啮合，承托部可在沿径向靠近置物口的承托位置以及沿径向远离置物口的放置位置之间活动，夹爪组件设置于安装空间内并与第二杆段啮合，在第二杆段的驱动下，夹持部可在径向收缩的夹持位置以及径向展开的释放位置之间活动。夹爪组件处于能够夹紧固定特性对象的夹持位置的状态下，从而有效地减轻了夹爪组件负担，稳定性得到提升的同时，还能够防止特性对象在夹持状态下发生掉落的情况，提高夹持装置的使用安全性。
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公开(公告)号：CN118650572B
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202411122943.1
申请日：2024-08-15
申请人： 迈为技术(珠海)有限公司
IPC分类号： B25B11/00
摘要： 本发明公开一种夹紧装置，涉及夹具的技术领域，该夹紧装置包括支撑套筒、双头螺杆、承托组件以及夹爪组件，双头螺杆可转动地设置于安装空间并往置物口方向延伸，双头螺杆具有相连且螺向相反的第一杆段以及第二杆段。承托组件与第一杆段啮合，承托部可在沿径向靠近置物口的承托位置以及沿径向远离置物口的放置位置之间活动，夹爪组件设置于安装空间内并与第二杆段啮合，在第二杆段的驱动下，夹持部可在径向收缩的夹持位置以及径向展开的释放位置之间活动。夹爪组件处于能够夹紧固定特性对象的夹持位置的状态下，从而有效地减轻了夹爪组件负担，稳定性得到提升的同时，还能够防止特性对象在夹持状态下发生掉落的情况，提高夹持装置的使用安全性。
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公开(公告)号：CN118423368B
公开(公告)日：2024-09-20
申请号：CN202410899105.9
申请日：2024-07-05
申请人： 迈为技术(珠海)有限公司
IPC分类号： F16C32/06
摘要： 本发明提供了一种气浮轴承，涉及轴承技术领域。本发明的气浮轴承可以包括本体和转动部件，该本体内包括气腔，气腔内又包括中柱，中柱处包括均匀布置的第一出气孔，可以将外界的气体由第一出气孔流向气腔。转动部件套设在中柱处，并且转动部件包括偏转管，偏转管的进气口靠近第一出气孔，使得第一出气孔出来的气体可以流经偏转管后再流向气腔，进而推动转动部件转动，使得从偏转管排出的气体能够更均匀地分布在整个气腔内，不仅提高了气膜支撑力的均匀性，还显著提高了气浮轴承的运行稳定性，避免了因气流分布不均导致的承载不均衡问题。
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公开(公告)号：CN118486641A
公开(公告)日：2024-08-13
申请号：CN202410912365.5
申请日：2024-07-09
申请人： 迈为技术(珠海)有限公司
IPC分类号： H01L21/687 , H01L21/67
摘要： 本发明公开一种晶圆载台及晶圆加工设备，涉及半导体加工的技术领域，该晶圆载台包括支撑台以及载台本体，其中载台本体可活动地置于支撑台并与支撑台面接触，此外，该晶圆载台还包括若干支撑弹簧，若干支撑弹簧间隔设置于载台本体与支撑台之间，且各支撑弹簧均处于预压状态或预拉状态，以将载台本体约束在支撑台之上。支撑台在支撑载台本体的基础上，载台本体与支撑台可沿支撑面方向相对活动，以避免载台本体能在热膨胀过程中所产生的应力集中的问题，保护晶圆免受损坏，适于不同的工艺需求的同时，也确保了工艺精度。而载台本体通过支撑弹簧被约束在支撑台上，能够保持载台本体在产生形变（膨胀与收缩）过程中位于支撑台上的稳定性。
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公开(公告)号：CN118423369A
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202410900224.1
申请日：2024-07-05
申请人： 迈为技术(珠海)有限公司
摘要： 本发明公开一种止推气浮轴承及其加工方法，涉及轴承的技术领域，其中，其包括轴承本体以及均压环，轴承本体的工作面开设有环绕于轴承本体的中心轴线设置的均压槽，均压槽的内外两侧槽壁的间距自槽底往槽口方向逐渐扩大，均压槽的槽底等间隔设置有若干出气口，均压环的外侧壁与均压槽的外侧槽壁配合形成往外倾斜的导流结构。导流结构为空气提供了一个稳定的流动路径，更有效地引导位于均压槽内的空气往轴承本体外侧方向流动，以减少均压槽内，以及轴承本体与相关部件之间所产生的湍流和涡流，达到提高止推气浮轴承稳定性的目的。而通过在均压槽上安装均压环形成导流结构，能够有效降低肢体气浮轴承的加工难度以及工艺成本。
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公开(公告)号：CN118423368A
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202410899105.9
申请日：2024-07-05
申请人： 迈为技术(珠海)有限公司
IPC分类号： F16C32/06
摘要： 本发明提供了一种气浮轴承，涉及轴承技术领域。本发明的气浮轴承可以包括本体和转动部件，该本体内包括气腔，气腔内又包括中柱，中柱处包括均匀布置的第一出气孔，可以将外界的气体由第一出气孔流向气腔。转动部件套设在中柱处，并且转动部件包括偏转管，偏转管的进气口靠近第一出气孔，使得第一出气孔出来的气体可以流经偏转管后再流向气腔，进而推动转动部件转动，使得从偏转管排出的气体能够更均匀地分布在整个气腔内，不仅提高了气膜支撑力的均匀性，还显著提高了气浮轴承的运行稳定性，避免了因气流分布不均导致的承载不均衡问题。
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