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公开(公告)号:CN101571501A
公开(公告)日:2009-11-04
申请号:CN200910128097.3
申请日:2009-03-25
申请人: 迈克纳斯公司
IPC分类号: G01N27/00
CPC分类号: G01N27/4143 , G01N33/005 , G01N33/0059
摘要: 气体传感器(1),其具有气体敏感层(7),所述气体敏感层(7)具有其中输出功取决于可与表面区(9)接触的目标气体的浓度的表面区(9)。通过空气隙(8)将表面区(9)与电位型传感器(27)电容耦合。气体敏感层(7)的表面区(9)被对于目标气体惰性的、电绝缘的涂层(18)覆盖,该涂层(18)粘附性地与气体敏感层(7)结合。所述涂层(18)这样构造,使得其对于目标气体和与之不同的、可吸附于表面区(9)上的另外的气体是渗透性的。涂层(18)对于目标气体和另外的气体具有不同的扩散常数。所述扩散常数这样彼此协调,使得如果目标气体的浓度在另外的气体的存在下超出预定的浓度阈值,则气体传感器(1)对于目标气体的测量敏感性增加。
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公开(公告)号:CN101571501B
公开(公告)日:2013-09-25
申请号:CN200910128097.3
申请日:2009-03-25
申请人: 迈克纳斯公司
IPC分类号: G01N27/00
CPC分类号: G01N27/4143 , G01N33/005 , G01N33/0059
摘要: 气体传感器(1),其具有气体敏感层(7),所述气体敏感层(7)具有其中输出功取决于可与表面区(9)接触的目标气体的浓度的表面区(9)。通过空气隙(8)将表面区(9)与电位型传感器(27)电容耦合。气体敏感层(7)的表面区(9)被对于目标气体惰性的、电绝缘的涂层(18)覆盖,该涂层(18)粘附性地与气体敏感层(7)结合。所述涂层(18)这样构造,使得其对于目标气体和与之不同的、可吸附于表面区(9)上的另外的气体是渗透性的。涂层(18)对于目标气体和另外的气体具有不同的扩散常数。所述扩散常数这样彼此协调,使得如果目标气体的浓度在另外的气体的存在下超出预定的浓度阈值,则气体传感器(1)对于目标气体的测量敏感性增加。
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