一种PECVD膜厚自动统计补偿系统

    公开(公告)号:CN109817555B

    公开(公告)日:2022-01-18

    申请号:CN201910095562.1

    申请日:2019-01-30

    IPC分类号: H01L21/67 H01L31/18 C23C16/52

    摘要: 本发明公开了一种PECVD膜厚自动统计补偿系统,属于硅太阳能电池制造领域,其目的在于:解决现有技术中PECVD工序中膜厚难以得到及时有效监控导致产品不良率高的问题,本发明包括PECVD炉管设备、自动化装卸片设备,其特征在于,还包括ATM系统以及中控电脑;ATM系统,用于采集PECVD炉管设备与自动化装卸片设备之间输送的太阳能电池片膜厚数据,并将所采集到的膜厚数据传输到中控电脑中;中控电脑,用于计算PECVD炉管设备中太阳能电池片镀膜工艺所需补偿的时间并将该时间发送至PECVD炉管设备进行工艺补偿。本发明通过对膜厚数据进行及时的测量,完整了对电池片膜厚变化的完整监控,并且能够自动调整工艺时间,提高了太阳能电池片的整体成品质量。

    一种PECVD膜厚自动统计补偿系统

    公开(公告)号:CN109817555A

    公开(公告)日:2019-05-28

    申请号:CN201910095562.1

    申请日:2019-01-30

    IPC分类号: H01L21/67 H01L31/18 C23C16/52

    摘要: 本发明公开了一种PECVD膜厚自动统计补偿系统,属于硅太阳能电池制造领域,其目的在于:解决现有技术中PECVD工序中膜厚难以得到及时有效监控导致产品不良率高的问题,本发明包括PECVD炉管设备、自动化装卸片设备,其特征在于,还包括ATM系统以及中控电脑;ATM系统,用于采集PECVD炉管设备与自动化装卸片设备之间输送的太阳能电池片膜厚数据,并将所采集到的膜厚数据传输到中控电脑中;中控电脑,用于计算PECVD炉管设备中太阳能电池片镀膜工艺所需补偿的时间并将该时间发送至PECVD炉管设备进行工艺补偿。本发明通过对膜厚数据进行及时的测量,完整了对电池片膜厚变化的完整监控,并且能够自动调整工艺时间,提高了太阳能电池片的整体成品质量。

    一种PERC电池片的制作工艺
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114256383A

    公开(公告)日:2022-03-29

    申请号:CN202111523069.9

    申请日:2021-12-13

    IPC分类号: H01L31/18 H01L31/068

    摘要: 本申请实施例提供一种PERC电池片的制作工艺,涉及光伏产品制备技术领域。PERC电池片的制作工艺,其包括对P型硅片依次进行的:制绒、扩散、SE激光掺杂、热氧化、抛光、退火、背面镀膜、正面镀膜、激光开槽、丝网印刷和烧结;在热氧化时,先通入携带磷源的氮气和氧气进行热处理,再通入氮气和氧气进行氧化;在SE激光掺杂和激光开槽时,控制激光处理产生的光斑间隔设置,且相邻光斑的间距为15μm~30μm。本申请实施例的PERC电池片的制作工艺尤其适用于薄片电池的制作,保证薄片电池的转换效率,同时减少碎片不良的比例。

    PERC电池及其制备方法
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113594033A

    公开(公告)日:2021-11-02

    申请号:CN202110865522.8

    申请日:2021-07-29

    摘要: 本申请提供了一种PERC电池及其制备方法,涉及太阳能电池的制备技术领域。该制备方法的背面镀膜或/和正面镀膜的工艺均包括通过化学气相沉积的方式进行多层镀膜步骤。其中,多层镀膜步骤包括:先以第一镀膜功率为功率值进行第一层镀膜步骤,然后以第二镀膜功率为功率值进行第二层镀膜步骤。进行多层镀膜步骤中,当将第一镀膜功率切换成第二镀膜功率的时候,功率逐渐变化,以使功率切换的持续时间至少为30s。在切换镀膜功率的时候,功率逐渐变化,使各层镀层之间的界面处更加均匀,提升了电池片的转化效率;且制备不同的膜层时,使设备的电压电流逐渐变化,改善射频不稳定产生报警现象。

    一种背面电极及太阳能电池

    公开(公告)号:CN217387171U

    公开(公告)日:2022-09-06

    申请号:CN202221039260.6

    申请日:2022-04-28

    IPC分类号: H01L31/0224 H01L31/042

    摘要: 本申请实施例提供一种背面电极及太阳能电池,涉及光伏领域。背面电极其包括至少两条主栅线,以及至少两条第一副栅线,每条主栅线和所有第一副栅线相交,每条主栅线沿其长度方向间隔设置有不少于两个焊接点,每个焊接点边沿的部分区域向外延伸并形成若干个搭接脚;每个搭接脚对应连接有第一副栅线,第一副栅线通过搭接脚与主栅线相交。具有该背面电极的太阳能电池,其第一副栅线是通过搭接脚与主栅线上的电极连接的,这样能极大地减少烧结过程中由于电极或主栅线的损坏而使得电池的电池效率降低的情况发生;而且第一副栅线与电极或主栅线之间也不容易发生浆料复合的情况。

    一种网版组合以及太阳电池

    公开(公告)号:CN218536012U

    公开(公告)日:2023-02-28

    申请号:CN202222761945.8

    申请日:2022-10-18

    摘要: 本申请提供一种网版组合以及太阳电池,属于光伏技术领域。网版组合包括第一印刷网版、第二印刷网版以及第三印刷网版。第一印刷网版的印刷部位包括多条副栅印刷结构;第二印刷网版的印刷部位包括多个主栅焊接点印刷结构,多个主栅焊接点印刷结构间隔分布,且主栅焊接点印刷结构被配置为用于印刷形成在第一预设方向上的两侧以及在副栅的延伸方向上的两侧均与副栅连接的主栅焊接点;第三印刷网版的印刷部位包括多条防断栅印刷结构,用于印刷多条连接在副栅之间的防断栅,该网版组合能够在降低栅线制备成本的同时提高制备得到的太阳电池对光的转换效率。