一种用于气相沉积装置的气体均匀混合分布器

    公开(公告)号:CN110124596A

    公开(公告)日:2019-08-16

    申请号:CN201910519746.6

    申请日:2019-06-17

    Abstract: 本发明提出了一种用于气相沉积装置的气体均匀混合分布器,包括:多通管、螺旋状气体混合管、导流装置、气体均匀分布板、反应装置,多通管、螺旋状气体混合管、导流装置、反应装置依次连接,在反应装置后部也连接有一个螺旋状气体混合管,气体均匀分布板设置在反应装置的前部,导流装置位于气体均匀分布板的正前方,导流装置由导流罩和导流块组成,导流块为锥形结构,导流块的尖端位于螺旋状气体混合管的出气口处,气体均匀分布板上设有大小不一且规则排列的进气孔。其有益效果是:区别于传统的通气方式,气体由直管直接进入反应炉,本装置首先使多种气体在螺旋状管道内进行螺旋流动混合;在进入反应室前通过导流装置,改变气流原有流动方向,使混合气体均匀的向四周分散,最后经过气体均匀分布板,进一步使气体更加均匀的进入反应室内。

    一种气动展纤设备
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112125042A

    公开(公告)日:2020-12-25

    申请号:CN202011192989.2

    申请日:2020-10-30

    Abstract: 本发明涉及一种气动展纤设备,包括放卷模块、气动展纤模块、收卷模块;放卷模块包括放卷机架,放卷机架上设置有放卷轴;气动展纤模块包括安装座,安装座固定在收卷机架上,安装座包括前安装板和后安装板;安装座上设置有振动单元;振动单元包括振源发生装置、振动杆、前直线轴承和后直线轴承、设置在前安装板与后安装板之间的振动组件;收卷模块设置在收卷机架上,收卷模块包括收卷盘和纸盘,收卷盘固定设置在收卷轴上,纸盘固定设置在纸盘固定轴上,纸盘上设置有离型纸卷,离型纸夹设在收卷盘的相邻两圈碳纤维之间;从而保证了碳纤维丝束扩展效率的同时保证展纤后的碳纤维具有较高的品质。

    气动展纤设备
    6.
    实用新型

    公开(公告)号:CN213415801U

    公开(公告)日:2021-06-11

    申请号:CN202022462770.1

    申请日:2020-10-30

    Abstract: 本实用新型涉及气动展纤设备,包括放卷模块、气动展纤模块、收卷模块;放卷模块包括放卷机架,放卷机架上设置有放卷轴;气动展纤模块包括安装座,安装座固定在收卷机架上,安装座包括前安装板和后安装板;安装座上设置有振动单元;振动单元包括振源发生装置、振动杆、前直线轴承和后直线轴承、设置在前安装板与后安装板之间的振动组件;收卷模块设置在收卷机架上,收卷模块包括收卷盘和纸盘,收卷盘固定设置在收卷轴上,纸盘固定设置在纸盘固定轴上,纸盘上设置有离型纸卷,离型纸夹设在收卷盘的相邻两圈碳纤维之间;从而保证了碳纤维丝束扩展效率的同时保证展纤后的碳纤维具有较高的品质。

    一种用于气相沉积的耐高温组合支架

    公开(公告)号:CN210237772U

    公开(公告)日:2020-04-03

    申请号:CN201920905937.1

    申请日:2019-06-17

    Abstract: 本实用新型提出了一种用于气相沉积的耐高温组合支架,包括:底板、支柱、套管、两个挡条组;底板为水平放置的矩形板,底板两侧的横边两端设有台阶形的定位孔,支柱下端为与定位孔形状配适的台阶圆台,套管内直径与支柱外径相适配,档条组包括上档条、放置在底板两侧竖边上的下档条,上档条、下档条上设有多个相对应的等间距的通槽,其两端设有通孔,支柱从下至上依次穿过定位孔、下档条两端的通孔、套管、上档条两端的通孔;本实用新型可适用于气相沉积中薄边类基板表面生成大面积纳米薄膜或涂层,具有很高的效率,容易加工,成本低,适用于工业化大批量生产。

    一种设有内衬板的新型石墨烯隧道窑

    公开(公告)号:CN209181505U

    公开(公告)日:2019-07-30

    申请号:CN201821842340.9

    申请日:2018-11-09

    Abstract: 本实用新型公开了一种设有内衬板的新型石墨烯隧道窑,包括窑体,窑体形成的窑腔表面设有石英或刚玉制成的上衬板、左衬板和右衬板,上衬板、左衬板和右衬板均设有圆弧形凸起;窑腔的上表面、左侧面和右侧面设有与圆弧形凸起相适配的凹槽。上衬板下表面设有与左衬板和右衬板半圆弧形顶端形状相适配的两条凹槽,窑体下部设有与左衬板底端和右衬板半圆弧形底端形状相适配的两条凹槽。上衬板、左衬板和右衬板与窑腔表面通过耐高温密封胶密封。石墨烯隧道窑气相沉积烧成中,增加硅质耐火材料或刚玉质耐火材料制成的内衬板,把传统的内衬耐火砖和反应气氛隔绝开,气相反应物不易沉积在窑腔传统内衬的耐火砖上,解决气相反应物在窑腔内衬上沉积的问题。

    一种工业化化学气相沉积装置

    公开(公告)号:CN208776835U

    公开(公告)日:2019-04-23

    申请号:CN201821366077.0

    申请日:2018-08-23

    Abstract: 本实用新型提供的一种工业化化学气相沉积装置,包括多个依次相连接的腔体,所述的多个依次相连接的腔体从前往后依次为前置换室、预热室、反应室、冷却室和后置换室,所述前置换室的前壁、后置换室的后壁及各腔体之间相连接处均设置有闸门,各个腔体的侧壁上均设置有进气口和出气口,各腔体内均设置有传送装置和温度传感器,所述的传送装置用于相邻腔体之间的物料传送,所述预热室和反应室内均设置有加热装置,所述冷却室内设置有冷却装置。本实用新型提供的一种工业化化学气相沉积装置能够适用于不同尺寸的基材,不受管式炉管径的限制,能够分批次连续进行纳米材料或涂层的生长,可满足工业化生产的需要,且生产效率高,保护气体使用量少。

Patent Agency Ranking