公开(公告)号：CN112095084A

公开(公告)日：2020-12-18

申请号：CN201910814975.0

申请日：2019-08-30

Applicant: 采钰科技股份有限公司

Inventor： 马绍为 ,  陈昶维

IPC: C23C14/50 ,  C23C14/24

Abstract: 一种镀膜设备包括加工腔室、旋转装置以及旋转承载座。旋转装置设置于前述加工腔室中。旋转承载座连接至前述旋转装置。旋转承载座包括两个延伸元件、两个容纳元件以及两个销。前述延伸元件围绕中心轴设置且相互分离，其中前述延伸元件的每一个具有一侧面。前述容纳元件的每一个具有一底面，前述容纳元件的其中一个连接至前述侧面的其中一个，且前述容纳元件的另一个连接至前述侧面的另一个。前述销的其中一个连接至前述底面的其中一个，且前述销的另一个连接至前述底面的另一个。

公开(公告)号：CN112095084B

公开(公告)日：2022-08-23

申请号：CN201910814975.0

申请日：2019-08-30

Applicant: 采钰科技股份有限公司

Inventor： 马绍为 ,  陈昶维

IPC: C23C14/50 ,  C23C14/24

Abstract: 一种镀膜设备包括加工腔室、旋转装置以及旋转承载座。旋转装置设置于前述加工腔室中。旋转承载座连接至前述旋转装置。旋转承载座包括两个延伸元件、两个容纳元件以及两个销。前述延伸元件围绕中心轴设置且相互分离，其中前述延伸元件的每一个具有一侧面。前述容纳元件的每一个具有一底面，前述容纳元件的其中一个连接至前述侧面的其中一个，且前述容纳元件的另一个连接至前述侧面的另一个。前述销的其中一个连接至前述底面的其中一个，且前述销的另一个连接至前述底面的另一个。