公开(公告)号：CN117559839A

公开(公告)日：2024-02-13

申请号：CN202311241635.6

申请日：2023-09-25

Applicant: 重庆大学

Inventor： 黄涛 ,  王迎斌 ,  罗治洪 ,  曹华军 ,  陶桂宝 ,  张梁 ,  何涛 ,  王郑扬

IPC: H02N2/06 ,  G05B13/04 ,  G01B7/02

Abstract: 本发明公开一种压电驱动反馈线性化与等效扰动补偿综合控制方法，该方法采用反馈线性化算法巧妙地件该非线性系统转为线性系统，便于设计基于反馈线性化后的模型设计标称前馈控制器、基于PID的标称反馈控制器和基于扩展状态观测器的补偿控制器的三自由度复合控制方法。将该控制方法在上位机设计完成后下载到实时控制器，采用驱动放大器放大压电平台输入电压，采用电容传感器测量实时输出位移，实时控制器实时采集输出位移信号，反馈给三自由度复合控制器形成闭环控制。该控制方法能有效地消除纳米压电运动台的迟滞非线性效应和补偿纳米压电运动台受到的等效扰动，同时提升纳米压电运动台的定位精度、轨迹跟踪性能。