公开(公告)号：CN114778583A

公开(公告)日：2022-07-22

申请号：CN202210298564.2

申请日：2022-03-24

Applicant: 重庆大学

Inventor： 汤积仁 ,  卢义玉 ,  成其 ,  刘文川 ,  夏彬伟 ,  葛兆龙 ,  贾云中 ,  张慧栋 ,  徐梓杰 ,  孙晓

IPC: G01N23/2251 ,  G06F17/16

Abstract: 本发明公开了一种扫描电镜目标点原位观测快速定位方法、装置及存储介质，其包括如下步骤：步骤一，对样品进行首次扫描电镜观测，确定目标点和至少三个参考点，在扫描电镜样品台坐标系中读出目标点和参考点的首次坐标；步骤二，对处理后的样品进行第二次扫描电镜观测，找到步骤一确定的参考点并在扫描电镜样品台坐标系中读出参考点的二次坐标，根据参考点的首次坐标和二次坐标确定变换矩阵，目标点的首次坐标通过变换矩阵转换到第二次电镜观测视野下的二次坐标，即可实现第二次扫描电镜观测时目标点的快速定位。其能够快速定位第二次扫描电镜观测时目标点的位置，准确率高。

公开(公告)号：CN114778583B

公开(公告)日：2024-08-13

申请号：CN202210298564.2

申请日：2022-03-24

Applicant: 重庆大学

Inventor： 汤积仁 ,  卢义玉 ,  成其 ,  刘文川 ,  夏彬伟 ,  葛兆龙 ,  贾云中 ,  张慧栋 ,  徐梓杰 ,  孙晓

IPC: G01N23/2251 ,  G06F17/16

Abstract: 本发明公开了一种扫描电镜目标点原位观测快速定位方法、装置及存储介质，其包括如下步骤：步骤一，对样品进行首次扫描电镜观测，确定目标点和至少三个参考点，在扫描电镜样品台坐标系中读出目标点和参考点的首次坐标；步骤二，对处理后的样品进行第二次扫描电镜观测，找到步骤一确定的参考点并在扫描电镜样品台坐标系中读出参考点的二次坐标，根据参考点的首次坐标和二次坐标确定变换矩阵，目标点的首次坐标通过变换矩阵转换到第二次电镜观测视野下的二次坐标，即可实现第二次扫描电镜观测时目标点的快速定位。其能够快速定位第二次扫描电镜观测时目标点的位置，准确率高。