公开(公告)号：CN109781313B

公开(公告)日：2021-04-09

申请号：CN201910158982.X

申请日：2019-03-04

Applicant: 重庆大学

Inventor： 周小平 ,  徐策 ,  付梁 ,  刘超

IPC: G01L1/20 ,  G01L9/02 ,  G01L19/04

Abstract: 本发明公开了一种基于液态金属的高灵敏度拉力传感器及其制造方法。拉力传感器的上基片上布置有第一液态金属电阻R1和第三液态金属电阻R3，下基片上布置有第二液态金属电阻R2和第四液态金属电阻R4，中间隔层分隔上基片（1）和下基片（2）；四个液态金属电阻R1、R2、R3和R4电连接构成电桥。制造方法的步骤是：1、制作上基片、下基片和中间隔层的模具；2、将液态的PDMS分别倒入步骤1的模具中，待PDMS凝固以后，从模具中取出；3、将步骤2制作好的PDMS片层进行键合；4、打孔，利用注射器将液态金属注入，用502胶水进行封口。本发明的技术效果：提高了拉力检测的灵敏度，能自动补偿温度。

公开(公告)号：CN109781313A

公开(公告)日：2019-05-21

申请号：CN201910158982.X

申请日：2019-03-04

Applicant: 重庆大学

Inventor： 周小平 ,  徐策 ,  付梁 ,  刘超

IPC: G01L1/20 ,  G01L9/02 ,  G01L19/04

Abstract: 本发明公开了一种基于液态金属的高灵敏度拉力传感器及其制造方法。拉力传感器的上基片上布置有第一液态金属电阻R1和第三液态金属电阻R3，下基片上布置有第二液态金属电阻R2和第四液态金属电阻R4，中间隔层分隔上基片（1）和下基片（2）；四个液态金属电阻R1、R2、R3和R4电连接构成电桥。制造方法的步骤是：1、制作上基片、下基片和中间隔层的模具；2、将液态的PDMS分别倒入步骤1的模具中，待PDMS凝固以后，从模具中取出；3、将步骤2制作好的PDMS片层进行键合；4、打孔，利用注射器将液态金属注入，用502胶水进行封口。本发明的技术效果：提高了拉力检测的灵敏度，能自动补偿温度。