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发明公开
采用文氏桥振荡电路测量液体电导率的频率检测器失效

公开(公告)号：CN101435836A

公开(公告)日：2009-05-20

申请号：CN200810233361.5

申请日：2008-12-17

申请人： 重庆大学

发明人： 李伟 , 温志渝 , 易继昆

IPC分类号： G01R27/02 , G01R23/02

摘要： 本发明涉及一种采用文氏桥振荡电路测量液体电导率的频率检测器，由MEMS器件和电路共同构成，所述MEMS器件是利用硅微加工技术制作的两个等值的电容器，电容器的介质是被检测液体，所述MEMS器件被固定在PCB板上与电路相连，构成一个文氏桥振荡电路及信号采集的后处理电路。检测时，被检测液体被注入频率检测器件或者频率检测器件放入被检测液体中，由于对应不同电导率的液体，频率检测器的电容值不同，文氏桥振荡电路的振荡频率不同，因此可以通过检测文氏桥振荡电路的振荡频率测量液体的电导率。这种检测器具有灵敏度高，抗干扰能力强，检测方便等优点，而且利用MEMS技术制作的微型器件，易于检测仪器的微型化，也方便与其它传感器集成构成多参数的微型检测仪器。