公开(公告)号：CN116664766B

公开(公告)日：2024-07-12

申请号：CN202310545769.0

申请日：2023-05-15

申请人： 重庆大学

发明人： 张大梁 ,  王雨娇 ,  韦旎妮 ,  周金飞

IPC分类号： G06T17/00 ,  G06T15/06 ,  G06T5/80 ,  G01N23/04 ,  G01N23/2055

摘要： 本发明公开了4D STEM图像数据处理方法和装置，涉及透射电镜技术领域。该方法包括：分析4D STEM数据集包括原始CBED图像所对应第一样品点的空间信息；对原始CBED图像进行像差校正；针对设定高度的样品层中第二样品点执行：确定第二样品点的空间坐标，根据二维图像坐标系与空间坐标系的转换关系，在二维图像坐标系下转换出第二样品点的多个预测像素点坐标；根据第二样品点的空间坐标、预测像素点坐标以及第一样品点的空间信息，从4D STEM数据集中，筛选出多个预测像素点坐标的像素数据；利用筛选出的像素数据，重组出样品层的4D STEM数据集。以实现4D STEM数据重聚焦，提高重组4D STEM数据准确性。

公开(公告)号：CN116664766A

公开(公告)日：2023-08-29

申请号：CN202310545769.0

申请日：2023-05-15

申请人： 重庆大学

发明人： 张大梁 ,  王雨娇 ,  韦旎妮 ,  周金飞

IPC分类号： G06T17/00 ,  G06T15/06 ,  G06T5/00 ,  G01N23/04 ,  G01N23/2055

摘要： 本发明公开了4D STEM图像数据处理方法和装置，涉及透射电镜技术领域。该方法包括：分析4D STEM数据集包括原始CBED图像所对应第一样品点的空间信息；对原始CBED图像进行像差校正；针对设定高度的样品层中第二样品点执行：确定第二样品点的空间坐标，根据二维图像坐标系与空间坐标系的转换关系，在二维图像坐标系下转换出第二样品点的多个预测像素点坐标；根据第二样品点的空间坐标、预测像素点坐标以及第一样品点的空间信息，从4D STEM数据集中，筛选出多个预测像素点坐标的像素数据；利用筛选出的像素数据，重组出样品层的4D STEM数据集。以实现4D STEM数据重聚焦，提高重组4D STEM数据准确性。