一种卷对卷真空镀膜机的控制系统及控制方法

    公开(公告)号:CN114525469B

    公开(公告)日:2025-02-18

    申请号:CN202210240920.5

    申请日:2022-03-10

    Abstract: 本发明涉及真空镀膜领域,公开了一种卷对卷真空镀膜机的控制系统,控制系统包括第一控制器和第二控制器;第一控制器包括:真空泵组单元,用于对各个过渡腔室进行抽真空,使所有过渡腔室内的真空度由两侧往中间方向逐级增高,并使镀膜腔室内维持最高真空度;基材卷绕单元,用于镀膜前基材的放卷和镀膜后基材的收卷工作,使基材能够连续不断地通过所有过渡腔室和镀膜腔室;密封辊组单元,用于密封各个过渡腔室之间、以及末端过渡腔室的通口,使各个过渡腔室独立分隔开,并使基材能够顺利通过所有过渡腔室和镀膜腔室。本发明通过各个单元的相互配合,能够实现高质量、高效率的镀膜工艺。

    卷对卷镀膜机的抽真空控制系统及控制方法

    公开(公告)号:CN114525490A

    公开(公告)日:2022-05-24

    申请号:CN202210165187.5

    申请日:2022-02-18

    Abstract: 本发明涉及真空镀膜领域,公开了一种卷对卷镀膜机的抽真空控制系统,包括控制器以及与控制器连接的两个初级抽真空单元和一个深度抽真空单元,两个初级抽真空单元分别作用于镀膜腔室其中一侧的第一腔室、第二腔室、第三腔室和第四腔室,深度抽真空单元作用于镀膜腔室两侧的第五腔室、第六腔室和第七腔室。本发明不仅能够实现对真空镀膜机的快速抽真空,使镀膜腔室内的真空度达到工作要求;并且也能够使多个过渡腔室内的真空度从两边往中间逐渐升高,降低对真空泵要求和压力,降低对两侧的密封结构的要求和压力,减少能源消耗;同时利用两侧腔室的高真空度来维持镀膜腔室的高真空度,使镀膜腔室内的高真空更加稳定,提高镀膜质量和效率。

    一种卷对卷真空镀膜机的控制系统及控制方法

    公开(公告)号:CN114525469A

    公开(公告)日:2022-05-24

    申请号:CN202210240920.5

    申请日:2022-03-10

    Abstract: 本发明涉及真空镀膜领域,公开了一种卷对卷真空镀膜机的控制系统,控制系统包括第一控制器和第二控制器;第一控制器包括:真空泵组单元,用于对各个过渡腔室进行抽真空,使所有过渡腔室内的真空度由两侧往中间方向逐级增高,并使镀膜腔室内维持最高真空度;基材卷绕单元,用于镀膜前基材的放卷和镀膜后基材的收卷工作,使基材能够连续不断地通过所有过渡腔室和镀膜腔室;密封辊组单元,用于密封各个过渡腔室之间、以及末端过渡腔室的通口,使各个过渡腔室独立分隔开,并使基材能够顺利通过所有过渡腔室和镀膜腔室。本发明通过各个单元的相互配合,能够实现高质量、高效率的镀膜工艺。

    卷对卷真空镀膜生产线
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114561627A

    公开(公告)日:2022-05-31

    申请号:CN202210152568.X

    申请日:2022-02-18

    Abstract: 本发明属于镀膜设备技术领域,具体涉及卷对卷真空镀膜生产线,包括主体和分别位于主体两端的放卷机构和收卷机构,主体包括若干并排设置的腔室,腔室分为镀膜室和位于镀膜室两侧依次排列的多个过渡室,每个过渡室远离镀膜室一侧均设有端板,分隔板和端板上均安装有双辊机构,分隔板上的双辊机构用于对待镀基材进行支撑,端板上的双辊机构用于对待镀基材进行支撑、并对第一缝隙进行密封,多个过渡室上均安装有真空泵,若干过渡室的真空度由两边向中间逐级增高。其目的是:通过真空泵对过渡室进行真空抽取,进而间接完成对镀膜室的真空抽取,避免真空泵直接对镀膜室进行真空抽取而造成的,镀膜室内气压不稳定的问题,提高镀膜质量。

    用于真空镀膜机的加热机构

    公开(公告)号:CN218710821U

    公开(公告)日:2023-03-24

    申请号:CN202123353982.7

    申请日:2021-12-28

    Abstract: 本实用新型涉及加热机构领域,公开了用于真空镀膜机的加热机构,包括加热箱和安装在加热箱上的箱门,加热箱内安装有加热件,加热件与加热箱的底部内壁之间安装有伸缩件和调节件,调节件包括推杆、第一弹簧、第一伸缩杆和两块安装板,推杆滑动安装在加热箱的底部内壁上,推杆的一端位于箱门的运动轨迹上,推杆的另一端与第一弹簧的一端抵接,第一弹簧远离推杆的一端抵接在加热箱远离箱门的内侧壁上,两块安装板均固定在加热箱的底部内壁上,且两块安装板位于推杆的两侧,第一伸缩杆的中部铰接在两块安装板之间。本实用新型自动调节热源与基材之间的距离,不用使用高功率的加热管,便能够将基材加热到镀膜的最佳干燥程度,十分节约能源。

    真空镀膜用的密封辊组合

    公开(公告)号:CN218710813U

    公开(公告)日:2023-03-24

    申请号:CN202123100911.6

    申请日:2021-12-10

    Abstract: 本实用新型涉及真空镀膜设备领域,公开了一种真空镀膜用的密封辊组合,包括箱体和设置在箱体内的多块隔板,隔板将箱体分隔成多个相互独立的真空腔室,隔板上具有供基材穿过的通口,真空腔室内固定有安装架,安装架的一侧紧密贴合在隔板上,安装架上靠近隔板的一侧具有与通口相适配的穿口,安装架内转动安装有上下分布的第一胶辊和第二胶辊,第一胶辊和第二胶辊可与基材密封抵靠,第一胶辊和第二胶辊的两端分别密封抵靠在安装架内的两侧上,且第一胶辊和第二胶辊靠近隔板的一侧也密封抵靠在安装架内的侧壁上,安装架外安装有用于驱动第一胶辊和第二胶辊反向转动的动力件。本实用新型能够实现真空镀膜机内各个腔室之间的独立密封,增强镀膜效果。

    一种可分段镀膜的真空镀膜机构

    公开(公告)号:CN218621016U

    公开(公告)日:2023-03-14

    申请号:CN202220334642.5

    申请日:2022-02-18

    Abstract: 本实用新型属于镀膜设备技术领域,具体涉及一种可分段镀膜的真空镀膜机构,包括安装在真空腔体内的电机和用于加热待镀材料的电子枪,其特征在于:所述真空腔体内转动安装有转动盘,所述电机的输出端与转动盘传动连接,所述转动盘上安装有多个坩埚,所述真空腔体内还转动安装有挡板,所述挡板和转动盘之间安装有传动结构。其目的是:通过多个坩埚对不同的待镀材料进行承接,并由电机对安装有坩埚的转动盘进行旋转,可避免在分段镀膜时,只能通过打开镀膜室,对坩埚内被加热的待镀材料进行更换的方式进行,破坏了镀膜室的真空度,若要继续镀膜,只能重新对镀膜室进行真空抽取,使用不便的问题。

    用于真空镀膜机的清洗机构

    公开(公告)号:CN218610793U

    公开(公告)日:2023-03-14

    申请号:CN202123349776.9

    申请日:2021-12-28

    Abstract: 本实用新型涉及真空镀膜领域,公开了一种用于真空镀膜机的清洗机构,包括清洗箱,所述清洗箱上安装有箱门,清洗箱的两侧均开设有供基材穿过的矩形通口,清洗箱内于基材的下侧安装有等离子发生板,等离子发生板朝向基材的一侧安装有两个激发电极,清洗箱的底侧固定有安装箱,安装箱内安装有射频电源,激发电极与射频电源电连接;清洗箱上安装有与清洗箱内部连通的进气管道,进气管道的一端延伸至清洗箱外并连通有工艺气体罐。本实用新型采用等离子射频的方式对连续镀膜的基材进行清洗,不仅能够提高清洗基材的效率和质量,同时也不会产生多余的水分,无需进行长时间的烘干处理,也不用担心因烘干不彻底,而导致镀膜质量降低的问题。

    一种带安装结构的真空镀膜机收放辊

    公开(公告)号:CN218710822U

    公开(公告)日:2023-03-24

    申请号:CN202123100926.2

    申请日:2021-12-10

    Abstract: 本实用新型涉及收放辊安装结构领域,公开了一种带安装结构的真空镀膜机收放辊,包括机架和收放辊,机架包括两块安装板,两块安装板相对的一侧均安装有安装组件,收放辊上设有辊轴,辊轴的两端分别安装在两侧的安装组件上,其中一块安装板背离安装组件的一侧安装有用于驱动收放辊转动的电机,安装组件包括固定安装在安装板上的承放座,承放座上铰接有限位板,限位板和承放座之间具有供辊轴放置和转动的空间,承放座上设有用于锁紧限位板的锁紧件;锁紧件包括锁紧螺杆和锁紧套筒,锁紧螺杆的一端与承放座铰接。本实用新型不仅便于装卸收放辊,提高工作人员的工作效率,同时又能能够防止收放辊出现松动,影响真空镀膜机的正常工作。

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