公开(公告)号：CN114406375A

公开(公告)日：2022-04-29

申请号：CN202210255855.3

申请日：2022-03-16

申请人： 长沙理工大学

发明人： 毛聪 ,  陈子阳 ,  唐伟东 ,  罗源嫱 ,  任莹晖 ,  李伟 ,  文卓 ,  张明军 ,  唐昆 ,  石峰

IPC分类号： B23H5/08 ,  B23H5/12

摘要： 本发明公开了一种硅基材料微小零件电化学放电赋能微细磨削方法，具体加工方法为：微磨具和辅助电极分别连接脉冲直流电源的负极和正极，电流经过回路时，微磨具在磨削液中发生电化学析氢反应产生氢气泡，多个氢气泡融合形成绝缘气膜并将微磨具与磨削液隔开；当电压大于临界放电电压时，气膜被击穿形成电化学放电并产生放电火花；放电区域内的工件表层材料在放电火花的作用下，一方面被直接烧蚀产生热影响层即物理改性，同时放电温升促使工件材料与磨削液发生化学反应生成硅酸盐即化学改性，改性层力学性能显著降低，能够快速高效地被微磨具磨除。本发明能够实现硬脆难导电硅基材料微小零件的高精高效低损伤加工，微磨具形状保持性好。

公开(公告)号：CN114406375B

公开(公告)日：2023-04-21

申请号：CN202210255855.3

申请日：2022-03-16

申请人： 长沙理工大学

发明人： 毛聪 ,  陈子阳 ,  唐伟东 ,  罗源嫱 ,  任莹晖 ,  李伟 ,  文卓 ,  张明军 ,  唐昆 ,  石峰

IPC分类号： B23H5/08 ,  B23H5/12

摘要： 本发明公开了一种硅基材料微小零件电化学放电赋能微细磨削方法，具体加工方法为：微磨具和辅助电极分别连接脉冲直流电源的负极和正极，电流经过回路时，微磨具在磨削液中发生电化学析氢反应产生氢气泡，多个氢气泡融合形成绝缘气膜并将微磨具与磨削液隔开；当电压大于临界放电电压时，气膜被击穿形成电化学放电并产生放电火花；放电区域内的工件表层材料在放电火花的作用下，一方面被直接烧蚀产生热影响层即物理改性，同时放电温升促使工件材料与磨削液发生化学反应生成硅酸盐即化学改性，改性层力学性能显著降低，能够快速高效地被微磨具磨除。本发明能够实现硬脆难导电硅基材料微小零件的高精高效低损伤加工，微磨具形状保持性好。