一种具有导流功能的沉积腔

    公开(公告)号:CN116143396B

    公开(公告)日:2024-08-20

    申请号:CN202310142635.4

    申请日:2023-02-17

    IPC分类号: C03B37/018 C03B19/01

    摘要: 本发明涉及一种具有导流功能的沉积腔,包括有沉积腔体,沉积腔体中安设有上、下旋转夹盘,对应于上、下旋转夹盘安设有上下间隔的喷灯,上、下旋转夹盘或喷灯与上下移动装置相连,沉积腔体的一侧与进风腔相连通,沉积腔体的另一侧与抽风腔相连通,其特征在于所述的沉积腔体两侧的侧壁设置有可上下摆动的导流翅片装置。本发明不仅可以减少腔内由于热量上涌而产生的紊流,增强顺流,而且可以调节气流的流向和流速,使气流更为平稳。沿沉积腔体上下分别单独设置2~5个导流翅片装置,可对沉积腔上下区域的气流场根据实际情况分别进行调节,使整个沉积区域气流场趋于稳定和顺畅,提高沉积质量。

    一种玻璃壁管测量装置
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111537021A

    公开(公告)日:2020-08-14

    申请号:CN202010339159.1

    申请日:2020-04-26

    IPC分类号: G01D21/02

    摘要: 本发明公开了一种玻璃壁管测量装置,包括底座、行走支架组件、旋转装置、外径测试仪和壁厚测试仪,底座上设有导轨,行走支架组件包括两个沿同一直线布置的置棒架,置棒架设置于导轨上,可沿导轨来回移动,旋转装置、外径测试仪和壁厚测试仪的探头均设置于导轨上,两个置棒架用于放置玻璃管,旋转装置用于带动玻璃管自转,外径测试仪和壁厚测试仪分别用于测试玻璃管的外径和壁厚。本装置实现玻璃管的自动检测棒外径、壁厚、外观缺陷和圆跳动,大大提高测试精度,提高测试效率。

    一种石英玻璃棒温度和功率联合控制真空烧结方法

    公开(公告)号:CN114212978B

    公开(公告)日:2022-12-23

    申请号:CN202111655488.8

    申请日:2021-12-31

    摘要: 本发明公开了一种石英玻璃棒温度和功率联合控制真空烧结方法,升温至烧结温度前,加热电源采用温度PID控制模式,达到烧结温度10min后,程序自动切换至功率控制模式,以避免因红外测温不准,而造成石英玻璃棒因实际温度过高造成的玻璃棒拉长报废的问题,烧结阶段Phase结束后,程序再自动切换至温度PID控制模式;根据上一炉烧结运行数据,各段红外测温温度和加热电源功率输出,对下一炉烧结配方recipe数据进行修正;本发明采用温度和功率联合控制控制,可实现真空烧结多段红外温度与实际温度相差较大时,仍可烧结出均匀性较好的石英玻璃棒,以提高真空烧结设备使用率和石英玻璃棒成品合格率。

    一种具有导流功能的沉积腔

    公开(公告)号:CN116143396A

    公开(公告)日:2023-05-23

    申请号:CN202310142635.4

    申请日:2023-02-17

    IPC分类号: C03B37/018 C03B19/01

    摘要: 本发明涉及一种具有导流功能的沉积腔,包括有沉积腔体,沉积腔体中安设有上、下旋转夹盘,对应于上、下旋转夹盘安设有上下间隔的喷灯,上、下旋转夹盘或喷灯与上下移动装置相连,沉积腔体的一侧与进风腔相连通,沉积腔体的另一侧与抽风腔相连通,其特征在于所述的沉积腔体两侧的侧壁设置有可上下摆动的导流翅片装置。本发明不仅可以减少腔内由于热量上涌而产生的紊流,增强顺流,而且可以调节气流的流向和流速,使气流更为平稳。沿沉积腔体上下分别单独设置2~5个导流翅片装置,可对沉积腔上下区域的气流场根据实际情况分别进行调节,使整个沉积区域气流场趋于稳定和顺畅,提高沉积质量。

    一种石英玻璃棒温度和功率联合控制真空烧结方法

    公开(公告)号:CN114212978A

    公开(公告)日:2022-03-22

    申请号:CN202111655488.8

    申请日:2021-12-31

    摘要: 本发明公开了一种石英玻璃棒温度和功率联合控制真空烧结方法,升温至烧结温度前,加热电源采用温度PID控制模式,达到烧结温度10min后,程序自动切换至功率控制模式,以避免因红外测温不准,而造成石英玻璃棒因实际温度过高造成的玻璃棒拉长报废的问题,烧结阶段Phase结束后,程序再自动切换至温度PID控制模式;根据上一炉烧结运行数据,各段红外测温温度和加热电源功率输出,对下一炉烧结配方recipe数据进行修正;本发明采用温度和功率联合控制控制,可实现真空烧结多段红外温度与实际温度相差较大时,仍可烧结出均匀性较好的石英玻璃棒,以提高真空烧结设备使用率和石英玻璃棒成品合格率。