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发明公开
用于稳定光学振荡器的电磁辐射的方法和装置审中-实审

公开(公告)号：CN116544768A

公开(公告)日：2023-08-04

申请号：CN202310050457.2

申请日：2023-02-01

Applicant: 门罗系统股份有限公司

Inventor： 尼古莱·利林法因 , 沃尔夫冈·汉赛尔 , 罗纳德·霍尔茨瓦特 , 西蒙·霍兹博格 , 马克·菲舍尔 , 弗雷德里克·伯勒

IPC: H01S3/13 , H01S3/10

Abstract: 稳定光学振荡器的、特别是激光器的电磁辐射，包括：测量在光学振荡器的电磁辐射和基准之间的偏差并且产生第一偏差信号；用第一偏差信号驱控第一调节器；借助驱控至少两个调整参量中的至少一个第一调整参量来调节第一偏差信号，其中，第一调整参量通过第一调节器的第一输出信号驱控，并且第一调整参量影响光学振荡器的第一电磁辐射；以及用调制单元产生调制信号，并且用调制信号驱控第一或第二调整参量；用调制信号解调第一调节器的第一输出信号并且产生与固定值的第二偏差信号；用第二偏差信号驱控第二调节器；用第二调节器的输出信号驱控调整参量中的其中一个调整参量并且调节第二偏差信号。

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