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公开(公告)号：CN102549416A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201080040905.1
申请日：2010-11-26
申请人： 阿尔卑斯电气株式会社
IPC分类号： G01N27/22
CPC分类号： G01N27/225
摘要： 本发明提供没有灵敏度偏差的平行平板型的湿度检测传感器。本发明的湿度检测传感器的特征在于，具备：基板(51)；传感器部，其设置在所述基板(51)上，由一对电极(53、55)夹持介电常数根据湿度发生变化的高分子感湿膜(54)，并且具有所述高分子感湿膜(54)局部向外界露出的感湿区域A；保护层(56)，其形成在至少所述一对电极中的上侧的电极(55)上，在所述感湿区域A以外的区域(区域B+区域C)中，具有与所述一对电极所夹持的高分子感湿膜(54)的厚度大致相同厚度的高分子感湿膜(54)的区域C存在于所述上侧的电极(55)的附近。
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公开(公告)号：CN102160185B
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN200980137265.3
申请日：2009-09-18
申请人： 阿尔卑斯电气株式会社
IPC分类号： H01L29/84 , G01P15/08 , G01P15/125
CPC分类号： G01P15/125 , B81B7/007 , B81B2203/0307 , B81B2207/07 , B81B2207/097 , B81C2203/036 , G01P1/023 , G01P15/0802 , G01P2015/0814 , H01L21/84 , H01L27/1203
摘要： 本发明提供一种MEMS传感器，对在第一基板侧所支撑的可动电极部以及固定电极部的各支撑导通部、和埋设在与所述第一基板空出间隔对置的第二基板侧的绝缘层内的引线层之间的接合构造进行了改良。该MEMS传感器具备：第一基板(1)、第二基板(2)、和具有配置在它们之间的可动电极部、固定电极部以及支撑导通部的功能层。在第二基板(2)的表面设置有：第二绝缘层(30)、引线层(35)、以及与引线层导通从而与各支撑导通部单独连接的连接电极部(32)。在第二绝缘层(30)的表面形成有贯穿到引线层的表面为止的凹部(37)。连接电极部(32)具有：对所述凹部(37)进行仿形的凹区域(32a)、和自凹区域的一个端部起在第二绝缘层(30)的表面一直延伸的连接区域。并且，支撑导通部(17)与连接电极部(32)的连接区域(32b)进行接合。
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公开(公告)号：CN102160185A
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN200980137265.3
申请日：2009-09-18
申请人： 阿尔卑斯电气株式会社
IPC分类号： H01L29/84 , G01P15/08 , G01P15/125
CPC分类号： G01P15/125 , B81B7/007 , B81B2203/0307 , B81B2207/07 , B81B2207/097 , B81C2203/036 , G01P1/023 , G01P15/0802 , G01P2015/0814 , H01L21/84 , H01L27/1203
摘要： 本发明提供一种MEMS传感器，对在第一基板侧所支撑的可动电极部以及固定电极部的各支撑导通部、和埋设在与所述第一基板空出间隔对置的第二基板侧的绝缘层内的引线层之间的接合构造进行了改良。该MEMS传感器具备：第一基板(1)、第二基板(2)、和具有配置在它们之间的可动电极部、固定电极部以及支撑导通部的功能层。在第二基板(2)的表面设置有：第二绝缘层(30)、引线层(35)、以及与引线层导通从而与各支撑导通部单独连接的连接电极部(32)。在第二绝缘层(30)的表面形成有贯穿到引线层的表面为止的凹部(37)。连接电极部(32)具有：对所述凹部(37)进行仿形的凹区域(32a)、和自凹区域的一个端部起在第二绝缘层(30)的表面一直延伸的连接区域。并且，支撑导通部(17)与连接电极部(32)的连接区域(32b)进行接合。
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公开(公告)号：CN103246385B
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201210575093.1
申请日：2012-12-26
申请人： 阿尔卑斯电气株式会社
IPC分类号： G06F3/041
摘要： 本发明的目的在于，提供一种尤其是在作为低电阻金属采用Cu、Cu合金或者Ag合金之际，能够确保良好的不可见特性，并且能够使电桥配线的耐环境性或静电破坏耐受性提高的输入装置。具有：透明基材(2)；形成于透明基材(2)的第一面的多个透明电极(5)；将所述透明电极(5)间电连接的电桥配线(10)；形成在所述透明基材(2)与所述电桥配线(10)之间的绝缘层(20)，所述电桥配线(10)形成为从所述绝缘层的表面侧按由非结晶ITO构成的基底层35/Cu、由Cu合金或者Ag合金构成的金属层40/由非结晶ITO构成的导电性氧化物保护层37依次层叠的结构。
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公开(公告)号：CN102918478B
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201180027033.X
申请日：2011-06-07
申请人： 阿尔卑斯电气株式会社
IPC分类号： G06F3/0362 , H01H13/00
CPC分类号： G01L5/16 , G06F3/0338 , H03K17/9625 , H03K17/965
摘要： 本发明提供一种按压输入装置，其能够使用一个按压传感器区分并检测向操作体施加的、方向相互不同的操作力。操作体(2)以摆动自如的方式被支承于支点构件(3)。操作体(2)的一侧(2a)抵接于按压传感器(10)的致动器的突起(13)，利用作为施压弹性构件的压缩螺旋弹簧(4)向操作体(2)的另一侧(2b)施加施压(fa)。利用施压(fa)将按压传感器(10)的检测输出设定在中点。能够利用一个按压传感器(10)区分并检测按压操作体(2)的一侧(2a)的操作力(Fa)和按压操作体(2)的另一侧(2b)的操作力(Fb)。
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公开(公告)号：CN102575964A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201080043480.X
申请日：2010-12-16
申请人： 阿尔卑斯电气株式会社
IPC分类号： G01L1/18
摘要： 本发明获得一种能够减小因基板接合后的残余应力导致的基板形变且能够改善成品率的测力传感器及其制造方法。在变位部在经由受压部承受来自外部的负荷时变位且具备电阻对应于该变位量而变化的多个压电电阻元件的传感器基板及支承该传感器基板的基体基板上分别设置有将变位部支承成变位自如的支承部和与多个压电电阻元件电连接的多个电连接部，将相互的支承部彼此及多个电连接部彼此接合。进而，在传感器基板及基体基板上，支承部及多个电连接部的至少一方设置到基板周缘。
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公开(公告)号：CN102575964B
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：CN201080043480.X
申请日：2010-12-16
申请人： 阿尔卑斯电气株式会社
IPC分类号： G01L1/18
摘要： 本发明获得一种能够减小因基板接合后的残余应力导致的基板形变且能够改善成品率的测力传感器及其制造方法。在变位部在经由受压部承受来自外部的负荷时变位且具备电阻对应于该变位量而变化的多个压电电阻元件的传感器基板及支承该传感器基板的基体基板上分别设置有将变位部支承成变位自如的支承部和与多个压电电阻元件电连接的多个电连接部，将相互的支承部彼此及多个电连接部彼此接合。进而，在传感器基板及基体基板上，支承部及多个电连接部的至少一方设置到基板周缘。
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公开(公告)号：CN102549416B
公开(公告)日：2014-03-12
申请号：CN201080040905.1
申请日：2010-11-26
申请人： 阿尔卑斯电气株式会社
IPC分类号： G01N27/22
CPC分类号： G01N27/225
摘要： 本发明提供没有灵敏度偏差的平行平板型的湿度检测传感器。本发明的湿度检测传感器的特征在于，具备：基板(51)；传感器部，其设置在所述基板(51)上，由一对电极(53、55)夹持介电常数根据湿度发生变化的高分子感湿膜(54)，并且具有所述高分子感湿膜(54)局部向外界露出的感湿区域A；保护层(56)，其形成在至少所述一对电极中的上侧的电极(55)上，在所述感湿区域A以外的区域(区域B+区域C)中，具有与所述一对电极所夹持的高分子感湿膜(54)的厚度大致相同厚度的高分子感湿膜(54)的区域C存在于所述上侧的电极(55)的附近。
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公开(公告)号：CN103246385A
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：CN201210575093.1
申请日：2012-12-26
申请人： 阿尔卑斯电气株式会社
IPC分类号： G06F3/041
摘要： 本发明的目的在于，提供一种尤其是在作为低电阻金属采用Cu、Cu合金或者Ag合金之际，能够确保良好的不可见特性，并且能够使电桥配线的耐环境性或静电破坏耐受性提高的输入装置。具有：透明基材(2)；形成于透明基材(2)的第一面的多个透明电极(5)；将所述透明电极(5)间电连接的电桥配线(10)；形成在所述透明基材(2)与所述电桥配线(10)之间的绝缘层(20)，所述电桥配线(10)形成为从所述绝缘层的表面侧按由非结晶ITO构成的基底层35/Cu、由Cu合金或者Ag合金构成的金属层40/由非结晶ITO构成的导电性氧化物保护层37依次层叠的结构。
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公开(公告)号：CN102918478A
公开(公告)日：2013-02-06
申请号：CN201180027033.X
申请日：2011-06-07
申请人： 阿尔卑斯电气株式会社
IPC分类号： G06F3/0362 , H01H13/00
CPC分类号： G01L5/16 , G06F3/0338 , H03K17/9625 , H03K17/965
摘要： 本发明提供一种按压输入装置，其能够使用一个按压传感器区分并检测向操作体施加的、方向相互不同的操作力。操作体(2)以摆动自如的方式被支承于支点构件(3)。操作体(2)的一侧(2a)抵接于按压传感器(10)的致动器的突起(13)，利用作为施压弹性构件的压缩螺旋弹簧(4)向操作体(2)的另一侧(2b)施加施压(fa)。利用施压(fa)将按压传感器(10)的检测输出设定在中点。能够利用一个按压传感器(10)区分并检测按压操作体(2)的一侧(2a)的操作力(Fa)和按压操作体(2)的另一侧(2b)的操作力(Fb)。
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