一种节能环保的氦气质谱仪检测设备

    公开(公告)号:CN118936771A

    公开(公告)日:2024-11-12

    申请号:CN202411127102.X

    申请日:2024-08-16

    IPC分类号: G01M3/20

    摘要: 本发明涉及氦气质谱仪技术领域,本发明公开了一种节能环保的氦气质谱仪检测设备,包括安装框架、伺服电机和环状承载板,所述伺服电机固定设置于安装框架内腔底部,所述环状承载板设置于伺服电机的顶部,所述环状承载板顶部的两侧均安装有一体化质谱仪检测箱。本发明通过在安装框架、伺服电机、环状承载板和一体化质谱仪检测箱之间设置互换交接机构、交替抬升机构和自适应分离机构,使得装置能够同步对两组一体化质谱仪检测箱进行位置更替并同步进行氦气注入对接和真空抽气对接,以便两组一体化质谱仪检测箱能够根据不同使用状态,同步进行检测前置工作,提高使用效率,且抽真空同步对氦气临储,也便于后续对其进行净化回收,达到节能环保的效果。