专利检索 ap:("陕西科技大学") AND inv:"陈丹丹" 第 1 页

1.

发明公开
一种电子传输层的制备方法、电子传输层及太阳能电池审中-实审

公开(公告)号：CN115132929A

公开(公告)日：2022-09-30

申请号：CN202210793134.8

申请日：2022-07-05

申请人： 陕西科技大学

发明人： 薛涛 , 陈丹丹 , 王晓 , 黄晋 , 郭坤平 , 张方晖

IPC分类号： H01L51/48 , H01L51/42 , C23C14/30 , C23C14/08

摘要： 本发明公开了一种电子传输层的制备方法、电子传输层及太阳能电池，电子传输层的制备方法包括：设置衬底；在衬底上采用电子束蒸发法沉积形成TiOx电子传输层。本发明通过电子束蒸发法制备高质量的电子传输层，需要的设备简单且成本低，能够沉积形成致密的TiOx薄膜，薄膜均匀性提高，由其作为电子传输层的钙钛矿太阳能电池器件效率得到提高，并且器件稳定性提高，制备工艺具有优异的可重复性，适合大批量商业化生产。