公开(公告)号：CN115598935A

公开(公告)日：2023-01-13

申请号：CN202211281545.5

申请日：2022-10-19

申请人： 隆基绿能科技股份有限公司(CN)

发明人： 沐俊应 ,  魏俊喆 ,  薛朝伟 ,  方亮 ,  李杰 ,  宋佳文 ,  汤伟 ,  黄戈龙

IPC分类号： G03F7/20 ,  H01L31/18

摘要： 本发明提供了曝光方法及设备、太阳能电池和光伏组件，涉及光刻技术领域。曝光方法包括：在待曝光件的第一表面和与第一表面具有夹角且相互连接的第二表面设置负性光刻胶；夹角大于0°，小于或等于90°；采用光源，对待曝光件的所述第一表面的至少部分区域，和第二表面的负性光刻胶进行曝光。本发明实施例中，第二表面是第一表面对应的垂直侧立面，甚至第二表面是第一表面对应的向内凹陷的侧立面，专门采用光源对第二表面的负性光刻胶进行曝光，就是在对第一表面的至少部分区域的负性光刻胶、和第一表面的侧立面的负性光刻胶均进行了曝光，对第一表面的侧立面的负性光刻胶曝光较为充分，从很大程度上减少了待曝光件的侧立面曝光不足的问题。