公开(公告)号：CN101016644A

公开(公告)日：2007-08-15

申请号：CN200610142326.3

申请日：2002-02-21

申请人： 霍尼韦尔国际公司

发明人： P·西林格尔 ,  M·费里

IPC分类号： C25D17/00 ,  C25D5/08

CPC分类号： C25D5/022 ,  C25D5/08 ,  C25D7/00 ,  C25D7/0642 ,  C25D7/0685 ,  C25D17/008

摘要： 一种改进的方法和电镀系统(100)，该电镀系统包括：多个不导电挡板(130)，它构成了细长的上部通道(122)和细长的下部通道(121)；电镀液分布器，它包括一系列入口，这些入口被定位成能引导所有电镀液流过这些入口进入下部通道，并朝上部通道流动；多个阳极，它位于上部和下部通道外部，并沿这些通道的长度方向设置。所述方法包括：将工件(900)浸到电镀液中；让工件至少部分地位于通道内，让电流在阳极和工件之间流动，工件沿通道的长度方向移动。

公开(公告)号：CN1285419C

公开(公告)日：2006-11-22

申请号：CN02805798.8

申请日：2002-02-21

申请人： 霍尼韦尔国际公司

发明人： P·西林格尔 ,  M·费里

IPC分类号： B05C3/00 ,  B05C3/02 ,  C25D17/00 ,  C25D5/00 ,  C25D7/06

CPC分类号： C25D5/022 ,  C25D5/08 ,  C25D7/00 ,  C25D7/0642 ,  C25D7/0685 ,  C25D17/008

摘要： 一种改进的方法和电镀系统(100)，该电镀系统包括：多个不导电挡板(130)，它构成了细长的上部通道(122)和细长的下部通道(121)；电镀液分布器，它包括一系列入口，这些入口被定位成能引导所有电镀液流过这些入口进入下部通道，并朝上部通道流动；多个阳极，它位于上部和下部通道外部，并沿这些通道的长度方向设置。所述方法包括：将工件(900)浸到电镀液中；让工件至少部分地位于通道内，让电流在阳极和工件之间流动，工件沿通道的长度方向移动。

公开(公告)号：CN1494462A

公开(公告)日：2004-05-05

申请号：CN02805798.8

申请日：2002-02-21

申请人： 霍尼韦尔国际公司

发明人： P·西林格尔 ,  M·费里

IPC分类号： B05C3/00 ,  B05C3/02 ,  C25D17/00 ,  C25D5/00 ,  C25D7/06

CPC分类号： C25D5/022 ,  C25D5/08 ,  C25D7/00 ,  C25D7/0642 ,  C25D7/0685 ,  C25D17/008

摘要： 一种改进的方法和电镀系统(100)，该电镀系统包括：多个不导电挡板(130)，它构成了细长的上部通道(122)和细长的下部通道(121)；电镀液分布器，它包括一系列入口，这些入口被定位成能引导所有电镀液流过这些入口进入下部通道，并朝上部通道流动；多个阳极，它位于上部和下部通道外部，并沿这些通道的长度方向设置。所述方法包括：将工件(900)浸到电镀液中；让工件至少部分地位于通道内，让电流在阳极和工件之间流动，工件沿通道的长度方向移动。