一种多组分高精度动态配气装置

    公开(公告)号:CN211577098U

    公开(公告)日:2020-09-25

    申请号:CN201922240431.6

    申请日:2019-12-13

    IPC分类号: G01N33/00

    摘要: 本实用新型提出一种多组分高精度动态配气装置,包括气泵,气泵出气端经管路分为上支路和下支路,下支路经管路依次连接有第一流量控制器、储气装置及第四流量控制器,第四流量控制器连接至废气排,所述上支路经管路依次连接有第二流量控制器和标气排,标气排经单向阀连接至废气排;所述上支路与下支路之间还连接有第三流量控制器。该多组分高精度动态配气装置在保证配气精度和工作可靠性的同时,降低了生产成本,运行和维护成本低。