公开(公告)号：CN115507938A

公开(公告)日：2022-12-23

申请号：CN202211429911.7

申请日：2022-11-16

申请人： 青岛国数信息科技有限公司

发明人： 杨华 ,  张颖 ,  张浩 ,  邹晓萌

IPC分类号： G01H11/08

摘要： 本发明属于水听器技术领域，公开了一种具有耐压结构的压电MEMS水听器，以解决目前压电MEMS水听器耐压性差的问题。水听器包括透声壳、基底、SOI层以及感测层；在透声壳与由基底、SOI层以及感测层组成的整体之间形成液体充填区域；感测层包括多个感测单元；SOI层背面对应每个感测单元处分别设置背腔；SOI层背面还设有用于连通液体充填区域以及各个背腔的微流道；背腔内充满空气，在液体充填区域内充填有液体，由微流道、背腔、感测层以及液体充填区域的液体共同组成耐压的静水压力平衡结构。本发明利于提高压电MEMS水听器的耐压性能，满足在深海环境下应用的耐压需求。

公开(公告)号：CN115507938B

公开(公告)日：2023-03-07

申请号：CN202211429911.7

申请日：2022-11-16

申请人： 青岛国数信息科技有限公司

发明人： 杨华 ,  张颖 ,  张浩 ,  邹晓萌

IPC分类号： G01H11/08

摘要： 本发明属于水听器技术领域，公开了一种具有耐压结构的压电MEMS水听器，以解决目前压电MEMS水听器耐压性差的问题。水听器包括透声壳、基底、SOI层以及感测层；在透声壳与由基底、SOI层以及感测层组成的整体之间形成液体充填区域；感测层包括多个感测单元；SOI层背面对应每个感测单元处分别设置背腔；SOI层背面还设有用于连通液体充填区域以及各个背腔的微流道；背腔内充满空气，在液体充填区域内充填有液体，由微流道、背腔、感测层以及液体充填区域的液体共同组成耐压的静水压力平衡结构。本发明利于提高压电MEMS水听器的耐压性能，满足在深海环境下应用的耐压需求。