一种腐蚀产物膜及腐蚀深度的原位测量方法

    公开(公告)号:CN116907382A

    公开(公告)日:2023-10-20

    申请号:CN202310988775.3

    申请日:2023-08-08

    摘要: 本发明公开了一种腐蚀产物膜及腐蚀深度的原位测量方法,首先确定制样方法后进行样品制备,设置硬度标记点进行位置对应,利用最优的测试参数连续采集标记区域初始表面起伏数据,对试样进行掩膜覆盖处理,覆膜后进行腐蚀试验,试验结束后对腐蚀产物膜与未腐蚀区域表面进行数据采集,清除腐蚀产物后重新进行腐蚀区与未腐蚀区表面数据采集;后期数据处理过程中,通过增加数据掩膜、硬度标记点、排除表面初始起伏度数据影响,最后采用失重法计算材料均匀腐蚀深度,对白光测试结果进行验证。本发明确保nm级腐蚀高度数据的准确性,又对表面mm级范围的高度数据进行统计,消除了单一视场的误差,实现大尺寸范围内原位的膜层厚度及腐蚀深度定量表征。

    一种基于超景深显微镜的点蚀评价方法

    公开(公告)号:CN115791833B

    公开(公告)日:2024-07-26

    申请号:CN202211676285.1

    申请日:2022-12-26

    IPC分类号: G01N21/95

    摘要: 本发明公开了一种基于超景深显微镜的点蚀评价方法,包括:采用vhx7000超景深显微镜的3D拼接功能进行矩形范围拼接,采集材料试样在多视场中的点蚀坑的深度特征;在3D显示中选择标尺,通过长宽数值计算矩形测量总面积;根据单一视场的最大点蚀深度的标准偏差,确定单一视场的最大点蚀深度,对比后筛选出材料试样中的最大的最大点蚀深度;采集不同深度的基准面下点蚀坑的截面面积和数量;引入点蚀深度权重参量,提出点蚀倾向和点蚀程度的表达式,评价点蚀情况。本发明使用vhx7000超景深显微镜多视场采集不同深度基准面下的点蚀坑数据,进而使用点蚀倾向和点蚀程度的表达式计算,更好地反映试样的点蚀情况,实现点蚀评价的量化表述。

    一种基于超景深显微镜的点蚀评价方法

    公开(公告)号:CN115791833A

    公开(公告)日:2023-03-14

    申请号:CN202211676285.1

    申请日:2022-12-26

    IPC分类号: G01N21/95

    摘要: 本发明公开了一种基于超景深显微镜的点蚀评价方法,包括:采用vhx7000超景深显微镜的3D拼接功能进行矩形范围拼接,采集材料试样在多视场中的点蚀坑的深度特征;在3D显示中选择标尺,通过长宽数值计算矩形测量总面积;根据单一视场的最大点蚀深度的标准偏差,确定单一视场的最大点蚀深度,对比后筛选出材料试样中的最大的最大点蚀深度;采集不同深度的基准面下点蚀坑的截面面积和数量;引入点蚀深度权重参量,提出点蚀倾向和点蚀程度的表达式,评价点蚀情况。本发明使用vhx7000超景深显微镜多视场采集不同深度基准面下的点蚀坑数据,进而使用点蚀倾向和点蚀程度的表达式计算,更好地反映试样的点蚀情况,实现点蚀评价的量化表述。