公开(公告)号：CN103930364B

公开(公告)日：2015-12-09

申请号：CN201380002956.9

申请日：2013-01-30

申请人： 首尔大学校产学协力团 ,  多次元能源系统研究集团

发明人： 郑祈男 ,  韩定锡 ,  拜特洛·皮其特撒 ,  崔虎燮 ,  河璟妍 ,  鲁昇烈 ,  金雄植 ,  崔万秀

IPC分类号： B82B3/00 ,  B82B1/00 ,  C23C14/32

CPC分类号： B82B1/008 ,  B82B3/0019 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  C23C14/04 ,  C23C14/16 ,  C23C14/32 ,  H01L31/02366 ,  Y02E10/50 ,  Y10T428/24909

摘要： 本发明涉及一种用于通过纳米微粒的聚焦刻图制造纳米微粒结构体的方法，以及通过所述方法获得的纳米微粒结构体。根据本发明的方法包括：将由火花放电产生的带电纳米微粒和离子引导至衬底的微米/纳米图案上；在由电晕放电所产生的离子在衬底上积聚后，将由火花放电产生的带电纳米微粒和离子聚焦沉积在微米/纳米图案上；其中该微米/纳米图案在所述衬底上形成。根据本发明的方法，可以有效地生产具有复杂结构和三维形状的精确的纳米微粒结构体。

公开(公告)号：CN103930364A

公开(公告)日：2014-07-16

申请号：CN201380002956.9

申请日：2013-01-30

申请人： 首尔大学校产学协力团 ,  多次元能源系统研究集团

发明人： 郑祈男 ,  韩定锡 ,  拜特洛·皮其特撒 ,  崔虎燮 ,  河璟妍 ,  鲁昇烈 ,  金雄植 ,  崔万秀

IPC分类号： B82B3/00 ,  B82B1/00 ,  C23C14/32

CPC分类号： B82B1/008 ,  B82B3/0019 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  C23C14/04 ,  C23C14/16 ,  C23C14/32 ,  H01L31/02366 ,  Y02E10/50 ,  Y10T428/24909

摘要： 本发明涉及一种用于通过纳米微粒的聚焦刻图制造纳米微粒结构体的方法，以及通过所述方法获得的纳米微粒结构体。根据本发明的方法包括：将由火花放电产生的带电纳米微粒和离子引导至衬底的微米/纳米图案上；在由电晕放电所产生的离子在衬底上积聚后，将由火花放电产生的带电纳米微粒和离子聚焦沉积在微米/纳米图案上；其中该微米/纳米图案在所述衬底上形成。根据本发明的方法，可以有效地生产具有复杂结构和三维形状的精确的纳米微粒结构体。